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安徽有色金属化学分析技术理论与应用

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可在线提取化学反应样品的结构

本实用新型公开了一种可在线提取化学反应样品的结构,涉及化学样品提取技术领域。本实用新型包括第一单向阀、第二单向阀和活塞筒;第一单向阀的出口与活塞筒连通,第二单向阀的入口与活塞筒连通,活塞筒能滑动安装有活塞。本实用新型通过活塞向外运动时,第一单向阀打开第二单向阀关闭,将液体样品从第一单向阀吸入到活塞筒内,活塞向内运动时,第一单向阀关闭,第二单向阀打开,活塞筒内的液体样品从活塞筒内经第二单向阀排出。通过活塞的来回运动能够实现液体的连续取样,取样时间短,取样量可控,能够满足在线检测技术的化学反应样品采集。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
定量检测谷胱甘肽还原酶的ELISA试剂盒及其检测方法

本发明涉及多肽化学和免疫学领域技术领域,具体是公开了一种定量检测谷胱甘肽还原酶的ELISA试剂盒,所述试剂盒通过双抗体夹心法检测所述人GR的含量,所述试剂盒包括包被板、校准品、结合抗体、酶结合物、质控品、显色剂A、显色剂B、终止液和浓缩洗涤液;所述包被板包被有GR包被抗体,所述GR包被抗体来源于GR抗原,所述GR抗原是通过使所述人GR抗原表位肽(1)和(2)中的一者与载体蛋白偶联制备而成的,所述结合抗体是由GR抗原制备而成的。本发明克服了现有技术的不足,该试剂盒操作简便、快速,并且检测准确度和精密度好、特异性高、灵敏度好、稳定性好,能够迅速及时地帮助诊断病情,监测预后。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双信号分子印迹电化学传感器及其制备方法和应用

本发明公开了一种双信号分子印迹电化学传感器及其制备方法和应用,该双信号分子印迹电化学传感器包括由基体电极和第一聚合层、纳米层、第二聚合层,第一聚合层、纳米层、第二聚合层由下向上依次负载于基体电极的表面;第一聚合层为聚对氨基苯磺酸聚合膜,纳米层为聚硫堇与金原子形成的纳米线层,第二聚合层为聚邻苯二胺层且表面形成有与双酚A相对应的印迹孔穴。该双信号分子印迹电化学传感器具有成本低、操作简单、性能稳定、灵敏度高、选择性好的优点,进而使得该传感器在双酚A的检测中能够得以广泛应用,同时该制备方法具有工序简单和操作简便的优点。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于微悬臂梁传感技术的原位测试电解池及其检测方法

本发明公开一种基于微悬臂梁传感技术的原位测试电解池及其检测方法,包括电解池本体,电解池本体中部开设有腔体,腔体包括第一腔体和第二腔体,第二腔体设置在第一腔体的下方并相互连通,电解池本体的两端部分分别设置有进液口和出液口,进液口和出液口分别与电解池本体的第一腔体连通;第二腔体所在的顶部设置有微悬臂梁电极,底部设置有对电极,且微悬臂梁电极与对电极通过外接导线连通至电化学工作站。本发明利用光电传感系统对微悬臂梁电极微小的挠度变化进行信号采集,并根据微悬臂梁电极尖端挠度的实时检测来反映充放电过程中电极材料质量、体积的实时变化,从而对电化学反应过程进行深入分析,研究电极材料离子脱嵌、材料粉化等现象。

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化学分析
安徽 - 淮南 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超高压电缆用超洁净化学交联聚乙烯绝缘料及制备方法

本发明公开了一种超高压电缆用超洁净化学交联聚乙烯绝缘料及制备方法,所述超洁净化学交联聚乙烯绝缘料包括以下重量份的原料:低密度聚乙烯90~110份,抗氧剂0.1~0.4份,交联剂1.5~2.5份;所述超洁净化学交联聚乙烯绝缘料的制备方法包括:S1、物料准备;S2、低密度聚乙烯和抗氧剂在往复螺杆挤出机中混合、过滤、挤出、造粒;S3、粒子混合料A经脱水、筛分、硫化、除杂、交联剂的混入、干燥;S4、混合料B经保温、渗透、扩散、后吸收;S5、成品冷却、除杂、检测、包装。本发明提出的制备方法,实现连续长周期生产,产能高、生产效率大,产品的稳定性好,生产成本低,抗氧剂分散均匀,制备的产品杂质含量低、尺寸小。

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化学分析
安徽 - 滁州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
Au/ZnO复合材料在光电化学传感器电极中的应用

本发明提出一种Au/ZnO复合材料在光电化学传感器电极中的应用,所述Au/ZnO复合材料包括Au纳米颗粒和多孔ZnO纳米带,Au纳米颗粒均匀负载在多孔ZnO纳米带表面。本发明提出的一种Au/ZnO复合材料在光电化学传感器电极中的应用,利用Au纳米颗粒的局域表面等离子体共振拓宽宽禁带半导体ZnO的吸收光波长,从而提升了ZnO材料的光电性能,当将Au/ZnO复合材料用于光电化学传感器后,可实现对4‑硝基苯酚(PNP)有特异性响应和高灵敏检测。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
乳腺癌检测胶体金侧向层析试纸条和同时检测乳腺癌和宫颈癌的胶体金侧向层析试纸条

本发明提供一种乳腺癌检测胶体金侧向层析试纸条及其制备方法和同时检测乳腺癌和宫颈癌的胶体金侧向层析试纸条,属于免疫化学检测技术领域,所述胶体金侧向层析试纸条包括PVC底板、硝酸纤维素膜、样品垫、结合垫和吸收垫;本发明所述胶体金侧向层析试纸能够同时检乳腺癌miRNA标志物(miR‑16、miR‑191)和蛋白类标志物(CA153、CA125)。本发明还提供了一种同时检测乳腺癌和宫颈癌的胶体金侧向层析试纸条,能够克服背景信号的干扰(组分间杂交反应),实现同时对宫颈癌和乳腺癌miRNA组和蛋白类两种不同类型的肿瘤标志物组的特异性检测,检测特异性达100%。

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化学分析
安徽 - 滁州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
植物中丹皮酚检测用样品制备方法和丹皮酚检测方法

本发明公开了一种植物中丹皮酚检测用样品制备方法、丹皮酚检测方法,样品制备方法包括以下步骤:冷水清洗、低温保存、冰冻切片;检测方法使用荧光显微技术进行检测,对植物中丹皮酚进行定位和相对定量检测。本发明制备方法无需经过繁杂的化学成分提取、染色等过程,不仅避免了丹皮酚的流失与弥散,而且保持了组织细胞结构和成分的原貌,在原植物正常生长的前提下即可明确牡丹中的药效成分丹皮酚在组织细胞水平上的存在部位与相对定量。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学实验室用废液处理装置

本实用新型公开了一种化学实验室用废液处理装置,包括处理箱,所述处理箱顶端设有安装口,且安装口内安装有定位罩。本实用新型通过设导液漏斗的导液盒将酸液或者碱液导入,通过在导液盒内设转动的小导板,可将酸液或者碱液导入,且在小导板的隔绝作用下避免有害气体溢散出,利于对操作者呼吸道的保护;同时将由导液盒导入的酸液或者碱液落于设有酸碱度检测仪检测端的两个大导板之间,在检测仪的检测作用下区分出检测出的是酸液还是碱液,以使PLC控制器控制转筒顺时针转动或逆时针转动,以将酸液或者碱液导于相应的酸液腔或碱液腔内,不需要操作者需对导入的液体事先进行酸碱度区分,避免区分有误,保证后续的酸碱液处理效果。

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化学分析
安徽 - 安庆 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
石墨纸基普鲁士蓝电化学传感器及其制备方法和应用

本发明公开了一种石墨纸基普鲁士蓝电化学传感器及其制备方法和应用,该石墨纸基普鲁士蓝电化学传感器包括石墨纸,石墨纸的表面形成有普鲁士蓝膜,普鲁士蓝膜上沉积有金纳米层。该制备方法包括:1)将石墨纸的表面进行预处理以形成毛面;2)将石墨纸置于混合溶液中进行电化学处理以在石墨纸的表面形成普鲁士蓝膜;3)在形成有普鲁士蓝膜的石墨纸的表面沉积金纳米层以制得石墨纸基普鲁士蓝电化学传感器;其中,混合溶液含有三价铁盐和铁氰化物。该石墨纸基普鲁士蓝电化学传感器具有优异的灵敏度、抗干扰能力、选择性和稳定性,进而使得其能够应用于过氧化氢或烟酰胺腺嘌呤二核苷酸的高效检测,同时该制备方法具有操作简单、成本低廉的优点。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学试验用试剂储存装置

本发明公开了一种化学试验用试剂储存装置,它主要包括上料机、高效过滤器、冷凝器、压力表、储存罐以及液位计量器。所述上料机上安装有高效过滤器,所述高效过滤器上通过管道安装有冷凝器,所述冷凝器与储存罐之间的管道上安装有压力表,所述储存罐底端的一侧设置有一根液位计量器,所述储存罐底端的另一侧设置有一个抽液管。本发明主要用于对化学实验用试剂进行储存,液位计量器可以测量储存罐内的液体的位置,抽液管可以随时对液剂进行抽取检测质量。

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化学分析
安徽 - 池州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨设备
化学机械研磨设备 677     
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一种化学机械研磨设备,所述化学机械研磨设备包括:研磨盘,用于固定研磨垫;研磨头,位于所述研磨盘上方,用于固定晶圆;传感器,固定于所述研磨头外壁上,且所述传感器的检测窗口朝向所述研磨盘;喷气单元,固定设置于所述研磨盘一侧,用于向所述传感器喷气。所述化学机械研磨设备的滑片侦测效果提高。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于光谱电化学的水污染源解析方法、装置及设备

本发明公开一种基于光谱电化学的水污染源解析方法、装置及设备,属于水处理技术领域,方法包括采集水样;获取水样在常规状态下的本底数据,本底数据包括第一三维荧光光谱数据和第一紫外吸收光谱信息;对水样进行电化学扰动,并获取水样在扰动状态下的扰动数据,扰动数据包括第二三维荧光光谱数据和第二紫外吸收光谱数据;对本底数据和扰动数据进行解析,确定污染源。本发明通过利用电化学扰动对水质中的活性成分进行了增强,使得水样所表现出激发光谱特征峰及其强度得到了增强,为基于光谱电化学的水污染源解析提供了更多信息挖掘隐藏的水质光谱信息,增加水质检测溯源的辨识度。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于电活性天然大分子胶束的超灵敏蛋白质分子印迹电化学传感器及其制备方法和应用

本发明提供基于电活性天然大分子胶束的超灵敏蛋白质分子印迹电化学传感器及其制备方法和应用,制备方法包括:电活性天然大分子的制备、蛋白质/电活性天然大分子胶束的制备、蛋白质/电活性天然大分子胶束修饰电极的制备和超灵敏蛋白质分子印迹电化学传感器的制备。本发明制备的电活性天然大分子胶束具有纳米结构和良好的生物相容性,将其应用于蛋白质分子印迹传感器,可以有效提高蛋白质在印迹聚合物中的传质速率,所构建的蛋白质印迹传感器具有良好的选择性、稳定性、灵敏性和较宽的检测范围;大分子自组装技术与蛋白质分子印迹技术、电化学生物传感技术的结合,可广泛应用于生物医药、食品安全以及环境监测等领域。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多层流控光检测装置和使用该装置的检测方法

本发明提供了一种多层流控光检测装置,该装置至少包括相互层叠的第一功能层和第二功能层,第一功能层包括未液体连通的第一主区域和至少两个第一次要区域,第二功能层包括经由液体通道液体连通的第二主区域和至少两个第二次要区域,并且从所述第二主区域到各个第二次要区域的液体通道长度不同,所述第一次要区域或第二区域内分别具有不同的特异性检测载体。本发明还提供了使用所述多层流控光检测装置对样品中至少两种检测物进行化学发光检测的方法。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
应用于无机化学实验的温湿度监控装置

本实用新型涉及一种应用于无机化学实验的温湿度监控装置,包括导轨、温湿度检测仪、驱动所述温湿度检测仪于导轨上往复移动的链轮链条传动机构、以及无线充电基站;所述无线充电基站包括通过支架连接于导轨底部的保护盒、设置于保护盒盒口顶部并与导轨连接的无线充电器、设置于温湿度检测仪底部一侧并与保护盒一侧开口相配合的密封板,所述温湿度检测仪下表面与盒口匹配,上表面与无线充电器对应,所述无线充电器连接市电。本实用新型利用导轨和链轮链条传动机构,能够驱动温湿度检测仪进行往复移动,实现导轨长度方向上任意位置的温湿度监测,设备成本较低,且温湿度探头直接与空气接触监测,监测精度高。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于化学计量学方法对不同质量的大曲分类的方法

本发明公开了一种基于化学计量学方法对不同质量大曲的分类方法,其特征是按如下步骤进行:1建立原始数据矩阵;2使用DRAUG算法对原始数据矩阵进行计算,获得主因子数;3利用主成分分析法获得各个曲块的得分序列;4使用聚类分析对所述原始数据矩阵D进行分类;结合所计算的各样本的综合得分,以进一步验证主成分分析对大曲质量分类结果的准确性。本发明能科学、合理、有效地区别出不同质量的大曲,从而提高大曲质量判断结果的准确性。

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化学分析
安徽 - 亳州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于光纤式荧光光谱技术的食用植物油真伪快速检测方法和检测装置

基于光纤式荧光光谱技术的食用植物油真伪快速检测方法和检测装置,涉及食品检测领域。该装置由以下几个部件构成:包括光源、样品池、荧光检测器和计算机,所述光源与样品池之间、样品池与荧光检测器之间均通过光纤连接,荧光检测器与计算机之间通过数据线连接。基于该装置的食用植物油真伪快速检测方法,按以下步骤进行:(1)首先采集荧光光谱数据;(2)得到真伪相关的化学指标数据库;(3)荧光数据特征信息提取和数据预处理;(4)建立数学模型和未知样本快速检测。本方法具有检测速度快、操作简便和设备便于携带等优点。

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化学分析
安徽 - 滁州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于硼酸亲和构建的三明治类型电化学传感器及其制备方法和应用

本发明公开了一种基于硼酸亲和构建的三明治类型电化学传感器及其制备方法和应用,所述制备方法包括:在GCE电极上滴加GO溶液,之后在PBS溶液中进行电沉积,即得RGO/GCE电极;将APBA溶液、HCl溶液和NaF溶液混合,得到混合液A,将上述RGO/GCE电极在混合液A中进行循环伏安扫描,即得PAPBA/RGO/GCE电极;在PAPBA/RGO/GCE电极上滴加BSA溶液,得到BSA/PAPBA/RGO/GCE电极;将PBS溶液、NADH和FcBA溶液混合得到混合液B,将BSA/PAPBA/RGO/GCE置于混合液B中反应得到三明治类型电化学传感器。解决了传统的NADH的检测灵敏度低、检测方法少和选择性差等问题。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于厌氧胶加工的化学反应釜

本发明是一种用于厌氧胶加工的化学反应釜,包括反应釜本体、密封盖和电机,其特征在于:所述的反应釜本体与密封盖通过连接螺栓、连接螺母连接,并由反应釜本体与密封盖组成反应腔,所述的反应釜本体设置在支架上,在反应釜本体内设置有冷却夹层,并在反应釜本体的外壁上设置有进水口、出水管、出料管、液体进料管,所述的密封盖外壁上设置有气体排料管、投料口、进气管、调速器、检测管,所述的电机设置在调速器上,并在电机上设置有旋转杆。本发明在反应釜本体与密封盖内设置有冷却夹层,能够降低反应釜的温度,降低原料化学反应产生的高温对反应釜的损坏,在检测管上设置有压力表,可及时观察到反应釜内的压力,提高了工作效率。

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化学分析
安徽 - 芜湖 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学危险品运输配送系统

本发明属于危险品交通运输技术领域,具体的说是一种化学危险品运输配送系统,包括处理终端、车辆安全检测模块、驾驶员检测模块、路径分配模块、车载显示模块和地面显示模块;所述车辆安全检测模块用于检测车辆的安全,车辆安全检测模块包括运输罐检测单元和震动检测单元,所述运输罐检测单元用于实时检测运输罐的各项参数,所述震动检测单元用于检测车辆在行驶时的震动大小;通过处理终端、车辆安全检测模块、驾驶员检测模块、路径分配模块、车载显示模块和地面显示模块间的相互配合,实现了对危险品运载车辆的运行状况进行实时检测,提供可有效的监测和预警,提高了运载车辆的安全性。

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化学分析
安徽 - 安庆 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于UPLC/LTQ-Orbitrap Velos MS检测石斛生物碱成分的方法

本发明提供了基于UPLC/LTQ‑Orbitrap Velos MS检测石斛生物碱成分的方法,通过超声处理,并用纯甲醇溶液进行提取,针对生物碱成分的化学性质,采用酸水溶解甲醇提取物,并进一步碱化,使生物碱盐转变为游离的生物碱,利用二氯甲烷溶液进行萃取,用超高效液相色谱分离所述游离生物碱待测样品,将分离后的生物碱成分用质谱检测;采用OSI/SMMS软件完成未知代谢物定性。本发明首次采用UPLC/LTQ‑Orbitrap Velos MS技术对石斛中生物碱成分进行定性检测,共鉴定出22种生物碱成分,且均首次在石斛中被分离检测出,明确了石斛生物碱成分的类型,为研究其药理作用奠定了理论基础。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化妆品含铅量太赫兹检测器及检测方法

本发明涉及化妆品安全检测设备领域,尤其涉及一种化妆品含铅量太赫兹检测器。所述化妆品含铅量太赫兹检测器有一个检测端,所述检测端包括底座、设置于底座上的支架和连接于支架的顶壳;所述顶壳设有太赫兹波发射探头,所述太赫兹波发射探头电连接于太赫兹波调制器;所述底座设有太赫兹波接收探头,所述太赫兹波接收探头与太赫兹波接收处理器电连接,所述太赫兹波接收处理器电连接于检测处理装置。本发明利用太赫兹光谱穿透化妆品对化妆品中重金属络合物分子振动特性具有一定的探测能力,经透射后的太赫兹光谱包含丰富的土壤物理信息和化学信息的特性,利用太赫兹光谱技术精确检测铅含量,克服了传统检测方法检测过程复杂,耗时长的缺点。

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化学分析
安徽 - 安庆 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法

本申请提供用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置及方法,所述装置包括:在竖直方向上设置的上下加热器;用于控制它们升降的电机;设置在下加热器表面上的用于安放基底的样品台;在样品台和上加热器之间的水平导轨;在水平导轨上的用于安放催化剂的载板,所述载板和样品台之间是用于临近催化化学气相沉积的反应区;设置在样品台与载板之间的光栅尺;用于检测催化剂是否与基底接触的短路检测装置和用于控制样品台升降的控制装置,其中上下加热器用于对反应区提供适合二维材料生长的温度。通过利用本发明的装置和方法,可以确定和判断催化剂在不同温度下随时间的热形变量,解决催化剂在高温下的形变对生长所导致的问题。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
职业病危害因素化学毒物采样装置

本发明公开了一种职业病危害因素化学毒物采样装置,涉及采样装置技术领域。一种职业病危害因素化学毒物采样装置,包括机身、按板和限位机构,机身的顶端两侧分别设置有瓶槽和干燥筒,干燥筒与瓶槽之间通过软管相通,干燥筒螺纹连接在机身的螺纹头上,瓶槽的端口位置有固定座,固定座通过转板连接着盖板,盖板上有滤网,滤网中部开有通口插接软管,盖板上有插头,插头插接在机身的插口内,插口内有限位机构。本发明使用时软管端头先插入盖板上的通口,然后将盖板整体盖在瓶槽的端口位置,盖板上设有滤网,从而就可在吸入气体的同时对空气中的杂质进行过滤,从而使检测时瓶槽内保持洁净,从而确保检测数据的精准。

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化学分析
安徽 - 六安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
便携式土壤检测修复设备及土壤检测修复方法

本发明提供一种便携式土壤检测修复设备及土壤检测修复方法,其中,设备包括至少两个检测修复装置,检测修复装置包括基座、探杆和探头;探头与硬度传感器连接;探杆设置有采样口和采样测试区,采样口下方的探杆外周上设置有螺旋叶片;探杆内部设置有传输杆;探杆的外周设置有导电炭层,导电炭层与基座内的电源连接端连接;不同检测修复装置通过导线分别与电源的正极和负极连接。本发明提供的便携式土壤检测修复设备,通过特有的设计,一方面能够在土壤内部不同深度直接完成采样和测试的操作,另一方面根据测试的电导率得出土壤是否产生重金属污染,进而直接对土壤采用电化学的方式进行修复,具有操作简单快捷,容易携带,测试效率高的优点。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
铁基混合料中铁粉含量检测装置及其检测方法

本发明公开了一种铁基混合料中铁粉含量检测装置,包括工作台,工作台的顶部放置有集粉盒,工作台的上方通过支撑组件固定有过滤筛,过滤筛内放置有磁铁;过滤筛的底部为筛网,磁铁位于筛网上;过滤筛位于集粉盒的正上方。本发明还公开一种基于上述所述的检测装置进行铁基混合料中铁粉的检测方法。本检测装置将铁基混合料中的铁粉吸附到磁铁的下方,当磁铁在过滤筛内移动时,混合在铁粉中的其它铜粉等不具有磁性的粉末,由于重力的作用会下落至集粉盒内,磁铁上仅吸附有铁粉,从而达到将铁粉从混合料中分离的目的,即可检测出铁基混合料中铁粉的含量。本发明提供的检测铁粉含量的方法,不需要配置化学试剂,操作简单且环境友好,检测效率高。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于化学成分的茶类判别方法

本发明实施例提供一种基于化学成分的茶类判别方法,包括:对待判别茶叶样品进行预处理,预处理包括打磨、离心、取上清和设置内标;对待判别茶叶样品进行检测,获得待判别茶叶样品在设定质荷比之间的多个化合物的内标归一化离子响应强度值;将内标归一化离子响应强度值代入每个茶叶种类的判别函数,根据每个茶叶种类的判别函数的函数值,获得待判别茶叶的种类。本发明实施例通过化学方法鉴别茶叶种类,更加客观地、科学地对茶叶进行分类,从而提高了判断结果的准确性和有效性;采用茶叶中多个化合物的离子强度作为指标建立判别函数,判别的正识率高;只需一步即可对单个茶叶样品进行分类或多个茶叶样品进行批量分类处理,可实现自动化检测鉴别。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
等离子体化学气相沉积设备

本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备,通过在等离子体化学气相沉积设备中添加等离子体探针、气相检测系统和控制及反馈系统来实时检测并调控真空腔室内的气体组分和等离子体密度,以达到提高成膜质量和提高成膜速率的效果。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨后晶圆清洗设备

本实用新型提供了一种化学机械研磨后晶圆清洗设备,包括清洗装置、电机扭矩量测模块、清洗控制模块及故障检测分类模块。本实用新型所提供的化学机械研磨后晶圆清洗设备通过故障检测分类模块收集清洗刷电机扭矩数据,动态调节清洗刷与晶圆表面的距离,减少了晶圆表面缺陷数,增加了清洗刷使用寿命,提高了良品率。

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化学分析
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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