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上海有色金属化学分析技术理论与应用

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动力锂电池在化成设备上的倍速链式输送系统

本实用新型涉及一种动力锂电池在化成设备上的倍速链式输送系统,属于用于直接转变化学能为电能的装置技术领域。该输送系统包括输送线机架和倍速链机构,倍速链机构包括设于输送线机架上用于输送模组盒的倍速链和倍速链导轨,模组盒放置于倍速链上并随倍速链移动,输送线机架上设有充放电装置、电芯参数测量装置和用于检测模组盒后将模组盒阻挡的检测阻挡器,充放电装置和电芯参数测量装置沿倍速链输送方向依次设置,检测阻挡器设于充放电装置和电芯参数测量装置的附近。该输送系统实现了锂电池化成生产过程中化成和输送的结合,减少了场地和人员的占用,提高了生产节奏。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
精度可调的自动液体体积定量及浓缩方法

一种精度可调的自动液体体积定量及浓缩方法,属测试领域。其通过下列组件来实现多选择快速浓缩和高精度自动体积定量的功能;其所述的组件至少包括:设置在基础构件上的基础组件、温控组件、气吹组件、负压抽取冷凝组件、旋转摇晃蒸发组件及自动液位检测组件。其可同时提供加热,旋蒸、负压抽取、气吹等浓缩途径供用户选用,用户选择性广、灵活性大,也加快了实验进程,节约时间及成本;并且,通过两组低精度的传感器的位置配合,达到了提高精度检测的目的,降低了制造成本。可广泛用于化学样品前处理中定量浓缩过程的高精度液位检测领域。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
酶激活型聚集诱导发光荧光探针、制备方法及其应用

本发明属于精细化工技术领域,具体涉及一种酶激活型聚集诱导发光荧光探针、制备方法及其应用,可应用于检测多种活细胞或离体组织的自噬检测,其化学结构式如式I所示。测试表明,本发明提供的荧光探针对自噬关键酶Atg4b具有高选择性的荧光响应,并对诱导自噬的活细胞和小鼠组织实现准确的荧光成像,而且由于探针在水溶液和有机溶剂中均无荧光,仅在自噬激活时发出明亮荧光,因此具有较高信噪比,本发明可便捷准确检测自噬的成像。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
金属探伤装置
金属探伤装置 656     
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本实用新型涉及化工设备检测技术领域,具体涉及一种金属探伤装置。一种金属探伤装置,包括电机、主机架、检测部和清洗装置,其特征在于,电机固定在主机架的顶端,检测部的底部采用转动轴与主机架连接,检测部的内部设有升降杆,清洗装置包括冲洗泵、洗水管路和振动器,冲洗泵的输出端与洗水管路连接,振动器设于主机架的内部,在振动器的主体左右两端安装有用于将附着在容器内壁上的化学残渣进行冲击细化的冲击头,冲击头与振动器主体之间采用连接杆进行连接。本实用新型实现了对使用过程中的化工容器的内部探伤,排出了残渣的干扰。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于核酸适配体修饰的石墨烯电子生物传感器、制备方法及其应用

本发明属于体外诊断技术领域,具体为一种基于核酸适配体修饰的石墨烯电子生物传感器、制备方法及其应用;本发明的石墨烯电子生物传感器制备方法包括:在硅/二氧化硅衬底上沉积金属电极;在沉积电极的衬底上转移石墨烯并在特定位置刻蚀出沟道;根据待检测类固醇激素分子的结构来选择和制备特异性的核酸适配体;将核酸适配体,聚乙二醇和乙醇胺,通过中间连接体依次化学修饰到石墨烯沟道材料表面。本发明的电子生物传感器基于场效应电学信号传感对临床样本中肾上腺类固醇激素分子的浓度进行快速测量。本发明的电子生物传感器可以快速直接检测临床样本,可以广泛地应用于各类疾病生物标志物的浓度检测。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
生物标志抗体芯片、其制备方法及其应用

本发明提供一种生物标志抗体芯片,将相关生物标志抗体集中在载玻片大小的载体上。本发明还提供所述生物标志抗体芯片的制备方法,具体包括:抗体芯片的设计与验证;载玻片的处理;载玻片的化学修饰;抗体稀释液的制备、抗体的预处理和质检;微阵列点样仪的设置,预冷和试点样;微阵列点样抗体芯片;抗体芯片的封闭和固定;抗体芯片的质量控制,包装和入库。本发明还提供所述生物抗体芯片的应用。根据本发明的生物标志抗体芯片检测通量更高,灵敏度更好;检测的背景更小,特异性更高;操作更简便,检测更容易。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
改性电极及其制备方法和用途

本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途,所述改性电极包括电极,所述电极的工作区域覆盖有复合材料层,所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极,基于电化学技术与丝网印刷电极,能够快速准确的检测液体中甲醛含量;测定方法简便快捷,无需复杂的仪器操作和前处理过程;检测成本低,甚至改性电极可一次性使用;检出时间快,仅需100秒就能完成测试;具有良好的灵敏度,可满足饮料中甲醛含量测试的要求。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新型家用多功能空气净化器

本实用新型公开了一种新型家用多功能空气净化器,涉及空气净化器技术领域,包括机壳和隔音壳,机壳位于隔音壳的内部,隔音壳包括位于上端的上板,位于侧端的四个侧板,位于下端的底板,侧板上设有通风口和散热口,通风口的下侧安装有控制板,机壳的下端与底板的上端位置连接处安装有减震基座,机壳的上端安装有检测装置。本实用新型设计新颖,结构简单,使用方便,通过上板上端安装的太阳能板吸收太阳光能并经过逆变器转换为交流电后储存在蓄电池中,达到了空气净化器的节能效果,通过机壳上端安装的气体检测器对空气进行检测,当检测到煤气、化学腐蚀等危险气体时,报警器进行报警,极大的提高了安全性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
改进火电厂机组启动汽水监督装置

本实用新型公开了一种改进火电厂机组启动汽水监督装置,包括,存储组件,包括存储容器、第一控制阀、第二控制阀,所述第一控制阀设置于所述存储容器下端,所述第二控制阀设置于所述存储容器侧面;检测组件,所述检测组件与所述存储组件连接。在存储组件和检测组件的作用下,保护在线表计并提高水样代表性的效果。此外还延长了阳离子交换树脂使用周期,大大降低了树脂再生所需的盐酸用量以及试验人员的工作量。利用检测罐、便携式电导率表以及阳树脂罐的巧妙组合得以解决。保证了频繁启停的火电机组启动阶段化学监督的实时性、准确性,为火电机组的启动节点把控以及设备安全提供了更有力的保障。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高清洁高精密电脑硬盘平衡圈加工方法

本发明涉及一种高清洁高精密电脑硬盘平衡圈加工方法,是通过以下步骤实现的:备料:该材料主要为AISI300系列;弯曲成型:引进CNC弹簧成型机,其加工线径范围0.8MM~1.6MM;线上回火:在设备中增加在线回火处理箱;线上检测:为了测量平衡圈开口角度及圆度,引进大屏幕高精度二维投影测量仪,其精度达到小数点后5位数;化学抛光处理&检测:采用日本CP处理技术,去除不锈钢产品表面的污染物及金属颗粒杂质;AQ清洗&检测:放置在器具中一起清洗以避免平衡圈变形;无尘包装;可以有效确保大容量硬盘驱动器在高速运转时的平衡性,降低噪音,并且最大限度地避免了残留金属颗粒导致磁盘失效的风险,从而大大延长了硬盘的使用寿命。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
桶装饮用水的复合、分离式物理消毒装置

本发明涉及一种桶装饮用水的复合、分离式物理消毒装置,采用了不使用任何化学消毒剂和任何化学防腐剂的全物理消毒技术,消毒系统由设置在制水工厂中的前级串联式超滤膜过滤系统和分别设置在每一个用户端的后级串联式紫外线辐射消毒系统复合构成,并配置消毒安全性自动检测控制装置,能确保杀灭原水中99.99%以上的病毒和99.9%以上的其他病原微生物,并杀灭在桶装水灌装封口后的储运过程中及在使用过程中因桶壁滋生或水气混合所产生的99.9%以上的繁殖细菌,同时不会产生任何消毒副产品,获得能保持原水的质量特性的高质量饮用水,切实解决了现有化学技术产生消毒副产品、现有物理消毒技术缺乏消毒持续性和安全性等困难,改变长期以来制水界普遍认为的物理消毒技术不能单独使用必须与化学消毒法联合使用的观点,有很强实用性。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超声波频率扫频技术控制电路板

本实用新型涉及一种超声波频率扫频技术控制电路板,用于超声波清洗设备中,以提高各种工业精密零件、半导体材料、化学化工分析、实验室分析等超声波清洗、超声波分析处理行业的要求,电源经变压、整流、滤波和稳压后分别连接信号发生模块和信号放大电路,信号发生模块的输出信号经RC调频后连接信号放大电路,其中:所述的信号发生模块经RC调频后连接频率偏置电路调节某一固定频率的扫频范围后连接信号放大电路,放大信号隔离输出。本实用新型可以使超声波信号发生器更好的匹配换能器频率;电声能量转换效率更高,减少功率损耗,降低耗电量;降低换能器故障率,延长设备使用寿命;可以得到更好的清洗效果、满足特殊的工艺要求等。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有热释电效应的电极及其制备方法和应用

本发明涉及电化学领域,公开了具有热释电效应的电极,其中含有热释电材料;所述的热释电材料掺杂在电极中,或者涂布在电极表面。热释电材料在温度变化时释放的电荷转移至电极上,通过检测正负电极之间电压的变化,推算出电池内部温度的变化数值,可以监测电池内部温度变化。将该电极应用于制备电池,可以实现内部温度变化的自检测。本发明将温度监控装置与电极融于一体,提高了温度监控灵敏度,无需在电池内增设测温装置,简化了电池测温的方法及能够实现实时检测电池内部温度变化,提高电池使用寿命和安全性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
废弃钢瓶处理方法
废弃钢瓶处理方法 626     
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本发明涉及一种废弃钢瓶处理方法,包括如下步骤:(1)、安装整个废弃钢瓶处理系统;(2)、安装钢瓶处理管道、阀门和压力表;(3)、气密性检查;(4)、气体置换多次;(5)、再次气密性检查;(6)、检测废弃钢瓶内的气体;(7)、将第(6)步中检测到的气体进行处理;(8)、紧急情况处理;(9)、清理现场。本发明使用的装置先采用氮气进行安全检测,之后采用充入氮气的方式将有毒气体置换出来,最后将有毒气体采取物理或化学的方法处理掉,同时还设置了紧急喷淋装置和抽吸孔,保证了整个系统的安全可靠。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
通用荧光标记探针在PCR-LDR基因单核苷酸多态性芯片上的应用

本发明公开了一种通用荧光标记探针在PCR-LDR基因SNP单核苷酸多态性芯片上的应用。本发明的应用包括探针设计、PCR产物制备、LDR产物制备及结果检测等步骤。本发明的探针包括标记探针和检测探针,由于对标记探针进行改造,可以不直接进行化学标记,因而,能降低PCR-LDR联合芯片技术的成本和节省探针合成时间,检测结果达到用直接标记技术检测的准确性和精确度。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
去势抵抗型前列腺癌诊断和/或预后评估标志物LncRNA ZNF518A及其应用

本发明涉及分子生物学技术领域,具体是去势抵抗型前列腺癌诊断或预后评估标志物LncRNA ZNF518A及其应用。本发明实验结果表明LncRNA ZNF518A有miR‑101‑3P及AR的结合位点;miR‑101‑3P也可与AR‑V7 3‑’UTR结合,且经荧光素酶报告基因验证了该结果,由此发现LncRNA ZNF518A通过竞争性结合miR‑101‑3P调控AR‑V7的表达,进而促进CRPC的发生发展。优点:本发明通过检测LncRNA ZNF518A表达及AR‑V7荧光免疫化学检测双重检测增加了临床应用的可行性和可信度,能够直接应用于临床,这是目前其他分子生物学检测方法不能比拟的特点。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于氟硼吡咯结构的硫化氢荧光探针及其制备方法和用途

本发明属于生物检测及药物化学领域,涉及基于氟硼吡咯结构的硫化氢荧光探针及其制备方法和用途。具体涉及基于氟硼吡咯结构的用于制备通过比值法检测硫化氢的荧光探针(1),或用于制备通过荧光淬灭机制检测硫化氢的荧光探针(2);所述的荧光探针由甲苯硫醚取代的氟硼吡咯为原料通过两步反应制备获得,制得的荧光探针可通过比值法或淬灭机制实现生物体系中的硫化氢的检测与识别。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
水位自动监控报警装置

本发明水位自动监控报警装置,属于水利工程领域,主要用于水塔、水箱、水池等水位监测,也可用于油箱、酸、碱及其它化学液体的监测,采用的技术方案:包括检测电路、给水控制电路、排水控制电路、报警电路、电源电路、指示电路,指示电路包括水位指示电路、启动水泵运转指示电路、水泵停止指示电路,其特征是检测电路连接指示电路,指示电路连接报警电路,电源电路分别连接检测电路、指示电路、报警电路、给水控制电路,本发明的水位自动监控报警装置监测误差小且运行成本低。

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化学分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于运动蛋白的基因转运速度控制装置的制造方法

本发明提供一种基于运动蛋白的基因转运速度控制装置的制造方法,包括步骤:i)、形成具有多聚阴离子尾的运动蛋白;ii)、提供纳米孔装置,包括壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座;柔性基底纳米孔结构包括金属层,以缩小纳米孔尺寸至1~100nm;运动蛋白稳定于纳米孔中;运动蛋白通过金属‑硫键锚定于纳米孔中,以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms每碱基对。本发明使用点击化学方法将运动蛋白锚定在纳米孔中,以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对,再调整温度与pH可以有效地控制基因链的转运速度,可将待检测基因链通过纳米孔51的转运速度进一步降低至数十甚至数百毫秒量级,从而提高光谱检测的灵敏度。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
夹管电磁阀
夹管电磁阀 750     
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一种用于通断软管的夹管电磁阀,用夹紧和松开软管的方法控制流体的通断,使流体不必流经电磁阀,因而不会受到污染。在壳体内有作为定衔铁的阀芯和动衔铁,定衔铁与动衔铁之间吸引时相接触的是圆锥面。在动衔铁上固紧活塞,活塞与其外面的阀体组成夹头,阀体上有两条安放软管的槽,电磁阀吸放时同时使一条槽内软管夹紧,另一条槽内软管松开。由于定衔铁与动衔铁之间是圆锥面接触,衔铁圆锥面之间的小距离变化可使活塞产生大的运动,因而电磁阀磁力转换效率高,吸力比同直径平面接触衔铁强,夹管夹紧力也较大,使这种夹管电磁阀具有结构简单,噪音小,夹紧力较大,通断软管可靠的特点,适宜在化学分析、体外诊断、水质分析、液相分析、生物工程等领域应用。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于解痉治疗的神经传导阻滞装置

一种用于解痉治疗的神经传导阻滞装置,包括高频刺激电极夹、高频信号发生模块、电刺激隔离器、数据采集器和记录分析仪,高频刺激电极夹包括一个阳极夹和一个阴极夹,一端与电刺激隔离器的正负极连接,另一端连接针状刺激电极,数据采集器用于采集和输出肌电信号,数据采集器上的记录电极用于记录效应肌肉的肌电信号,参考电极用于参照和验证所述记录电极记录的肌电信号,接地电极接地连接,记录分析仪用于分析处理输入的肌电信号。该装置通过高频电刺激痉挛肌肉上游的外周神经,可有效阻断患者异常神经放电,缓解肌痉挛,相比化学药物在治疗神经病理性疼痛时疗效好,效果稳定,副作用少。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于运动蛋白的基因转运速度控制装置

本发明提供一种基于运动蛋白的基因转运速度控制装置,包括运动蛋白、壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座、电源、第一电极和第二电极,所述纳米孔结构包括:纳米孔,金属层,以缩小纳米孔尺寸至1~100nm;所述运动蛋白与所述金属层形成金属‑硫键,以使待检测基因链通过所述纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对。本发明使用点击化学方法将运动蛋白锚定在纳米孔中,以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对,再调整温度与pH可以有效地控制基因链的转运速度,可将待检测基因链通过纳米孔51的转运速度进一步降低至数十甚至数百毫秒量级,从而提高光谱检测的灵敏度。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新型血清特定糖蛋白的抗体制备方法

糖链是维持糖蛋白结构与功能的重要部分,直接参与了每一种重大疾病的生理病理过程。本发明属于临床医学诊断学领域,本发明目的在于提供一种血清特定糖蛋白的抗体制备方法,以有效提高基于凝集素捕获的免疫学检测技术对异常糖基化糖蛋白检测的特异性和准确性。具体地说,本发明提供了一种特定糖蛋白乏糖基化抗体的制备方法,所得抗体特异性高、糖基化水平低,可有效用于特定糖基化蛋白的凝集素捕获‑免疫学检测。凝集素捕获‑免疫学检测技术包括:凝集素捕获化学发光免疫技术及凝集素酶联免疫吸附试验。乏糖基化抗体主要包括:乏核心岩藻糖基化、乏唾液酸化、乏平分型N‑乙酰葡萄糖胺化等。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
低温低压制备氮化硼涂层的方法

本发明公开了一种低温低压制备氮化硼涂层的方法,用于解决现有技术中,在采用化学气相沉积方法时,所需制备温度较高的问题。以三氯化硼(BCl3)和氨气(NH3)为主要原料,在低温条件下进行化学气相沉积,再将所得样品进行高温热处理,经傅里叶红外和X射线衍射检测,制备出了渗透能力更强、厚度均匀可控、结晶度较高的氮化硼涂层。此方法可用于复合材料氮化硼界面的制备和样品表面涂层的制备,此方法将氮化硼化学气相沉积的沉积温度由1300~1800℃,降到了300~800℃。该方法主要包括:低温化学气相沉积和高温热处理。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
花状三氧化钨多级纳米材料、三乙胺气体传感器及制备方法

本发明公开了一种花状三氧化钨多级纳米材料及其制备方法和用途。本发明还提供了基于该花状三氧化钨多级纳米材料的气体传感器,包括其制备方法及用途。其中,花状三氧化钨多级纳米材料由简单环保的声化学法制备,所得花状三氧化钨多级纳米材料可应用于三乙胺气体的高效检测。本发明基于花状三氧化钨多级纳米材料的三乙胺气体传感器,其具有优异的灵敏度、超快的响应速度、出色的选择性、可靠的长期稳定性和低的理论检测极限,表明这种基于新型花状三氧化钨多级纳米材料的气体传感器适用于高灵敏度地检测三乙胺气体,该花状三氧化钨多级纳米材料是检测三乙胺气体的潜在传感材料之一。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
栅极的制造方法
栅极的制造方法 792     
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本发明公开了一种栅极的制造方法,包括步骤:步骤一、在半导体衬底表面形成栅介质层和多晶硅栅;步骤二、在多晶硅栅表面中注入终点检测杂质;步骤三、进行光刻刻蚀形成栅极;步骤四、在各栅极侧面形成侧墙;步骤五、形成由氮化层组成的接触孔刻蚀停止层;步骤六、形成由氧化层组成的层间膜;步骤七、采用化学机械研磨工艺进行第一次平坦化并停止在氮化层材料上;步骤八、采用第一次等离子体刻蚀工艺进行第二次平坦化,第一次等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点采用检测终点检测杂质实现的终点检测方式确定;步骤九、采用第二次等离子体刻蚀工艺对多晶硅栅进行去除并采用定时方式确定刻蚀终点。本发明能提高多晶硅栅去除的可靠性并进而提高器件的可靠性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
在复合非质子溶剂中电还原生成熊去氧胆酸的方法

本发明涉及一种在单槽电解槽中利用两种非质子溶剂为电解液,将7‑酮石胆酸(7K‑LCK)电化学还原成熊去氧胆酸(UDCA)的方法,包括:配置电解液:将1,3‑二甲基‑2‑咪唑啉酮(DMI)和六甲基磷酰胺(HMPA)按体积比1:1配置成60ml混合液,加入0.5g电解质氯化锂(LiCl)和1.0g底物7‑酮石胆酸,搅拌均匀,放置在控温搅拌器上并连接电解仪器,以Cu为阴电极,Ru‑Ti为阳电极,将电流调至100mA,电压调至30V进行电解,24小时后停止。将得到的电解液进行沉淀过滤后进行高效液相色谱分析,后续使用硅烷化反应进行结晶得到纯品熊去氧胆酸。本发明使用的是在复合非质子溶剂1,3‑二甲基‑2‑咪唑啉酮与六甲基磷酰胺利用电化学法进行实验,电化学法操作简便,反应安全,稳定、更持久,能够做到工业化放大生产更现实。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
锂电池满充容量估计的方法及装置

本发明涉及一种锂电池满充容量估计的方法,包括以下步骤:S1:分别设置锂电池的最大化学容量Qmax和充电时间常数τ的初始值;S2:分别判断对最大化学容量Qmax和充电时间常数τ进行更新的条件是否成立,若是,则计算相应的最新值并更新,若否,则保持最大化学容量Qmax和充电时间常数τ的值不变;S3:根据充电时间常数τ和设定的截止电流Ic,计算得到虚拟电量Qv;S4:根据最大化学容量Qmax与虚拟电量Qv,计算锂电池满充容量FCC。与现有技术相比,本发明具有易于检测、精度高且适应性高等优点。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法

本发明公开了一种碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法,所述CdZnTe薄膜表面进行机械抛光和化学抛光,即依次进行使用Al2O3抛光粉的物理机械抛光和使用溴甲醇溶液的化学腐蚀抛光。相比于未经表面处理的CdZnTe薄膜,本发明所采用的表面处理得到的CdZnTe薄膜表面缺陷和杂质更少,表面粗糙度更小,薄膜表面质量更好。本发明制备的薄膜材料对于射线探测、辐射探测、天体物理、国防安保以及医疗检测等方面具有重要意义和应用前景。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
晶圆摆放方式的派工选择系统及晶圆的摆放方法

本发明公开了一种晶圆在晶舟上摆放方式的派工选择系统及摆放方法,在化学气相沉积工艺的其它条件一定的情况下,晶圆表面沉积薄膜的厚度与其对应的光罩透光率呈线性负相关,并结合反应炉的通气情况,先统计分析同一批次晶圆对应的光罩透光率范围,再针对每个晶圆,根据晶圆对应的光罩透光率在光罩透光率范围中的位置确定晶圆在晶舟上的摆放位置:对于光罩透光率高的晶圆,选择晶圆从晶舟下端开始摆放的子方式;对于光罩透光率低的晶圆,选择晶圆从晶舟上端开始摆放的子方式。如此,能最大限度度地对化学气相沉积工艺中同一批次晶圆的表面沉积薄膜的厚度进行补偿调节,使得化学气相沉积工艺中同一批次的多个晶圆的表面沉积薄膜的厚度一致。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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