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北京有色金属分析检测技术理论与应用

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热化学储热材料性能检测装置

本发明涉及热化学储热材料性能表征技术领域,具体涉及一种热化学储热材料性能检测装置,包括:加热炉,加热炉内腔中沿轴向间隔设置有多级加热组件,多级加热组件均滑动安装在加热炉内腔中;可调压反应器,沿加热组件的滑动方向贯穿加热炉设置,反应器的内腔密封设置,反应器内腔中设有样品填料器;物料天平,安装在反应器上,物料天平与样品填料器配合连接,实现热化学储热材料兼顾可变温度和压力条件下的热性能测量;通过不断改变与样品填料器对应的加热组件,快速切换热化学储热材料储热释热循环反应条件,在反应过冲中无需等待容器冷却后重新加热,大大缩短了在对热化学储热材料储热释热循环反应测试时的等待时间,提升检测效率。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学还原氧化石墨烯修饰电极及其检测水中重金属六价铬离子的应用

本发明涉及一种电化学还原氧化石墨烯修饰电极及其在检测水中重金属六价铬离子中的应用。该修饰电极是在用电化学还原氧化石墨烯直接沉积在工作电极表面来制备的。用计时电流法、线性扫描伏安法或循环伏安法检测六价铬离子,石墨烯修饰电极为工作电极,以Ag/AgCl电极为参比电极,铂电极为对电极,包括检测实验的参数设置。本发明以石墨烯修饰金电极作为工作电极,电极制备过程简单方便,具有高的电化学活性,可实现快速检测Cr(VI),检测范围宽(5~2000μg/L),检测下限较低(0.5μg/L),且具有抗其他金属离子干扰的能力和稳定性,检测周期短等优点有望应用于未来实际便携式检测应用。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于光氧化的锑形态电化学检测方法及其应用

本发明公开了基于光氧化的锑形态电化学检测方法及其应用。该方法依据三价锑和五价锑电化学活性的差异,采用阳极溶出伏安法,在不同富集电位条件下分别可测定三价锑和五价锑的溶出峰,其中三价锑的电化学信号不受五价锑存在的干扰;之后利用三价锑可光氧化的特点,对样品进行光照后再测定以五价锑形式存在的总锑的含量,样品中五价锑的含量由差减法计算得出。本发明的方法过程简单可靠,受基质干扰小、便于操作,且能在同一电解质溶液中同时对三价锑和五价锑含量进行检测。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学传感器及其制备方法、离子浓度检测系统

一种电化学传感器及其制备方法、离子浓度检测系统。电化学传感器包括:传感芯片,传感芯片包括信号转换电路,以及与信号转换电路相连的离子敏感场效应晶体管与信号输出电路,其中,信号转换电路用于将待测溶液中的目标离子的浓度变化转化为电信号,信号输出电路用于将电信号输出;形成于离子敏感场效应晶体管的敏感层上的离子敏感膜,离子敏感膜含有目标离子的载体;形成于离子敏感膜上的微反应池或微反应通道,微反应池或微反应通道用于注入待测溶液;位于微反应池或微反应通道内的参比电极。本公开提供的电化学传感器可以提高检测速度、灵敏度、降低成本并使得操作简便。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于磁性微球快速检测化学物质内分泌干扰活性的试剂盒及方法

本发明提供了一种基于磁性微球快速检测化学物质内分泌干扰活性的试剂盒及方法,该试剂盒包含微球‑GST/6×HIS‑NR LBD蛋白聚合物溶液、SRC‑BAP蛋白溶液、BSA溶液、反应液、清洗液、显色液和显色终止液。本发明通过将活化的微球‑蛋白聚合物溶液、SRC‑BAP蛋白溶液、BSA溶液和待测物质混合孵育,清洗后添加显色液使其显色并终止,利用普通光学酶标仪测定吸光值,通过软件处理吸光值计算得到EC50或IC50,从而能够快速测定化学物质的受体活性。本发明提供的检测方法可以缩短实验周期、增强受体纯度和活性、提高检测灵敏度,从而实现高灵敏、高效快速地进行化学品内分泌干扰受体活性检测筛选的目的。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
氯丙嗪的磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用

本发明提供了一种氯丙嗪的磁免疫化学发光检测试剂盒,它包括:酶标抗原、酶标抗原稀释液、磁标抗体、磁标抗体稀释液、氯丙嗪系列标准品溶液、化学发光底物A液、化学发光底物B液、复溶液、洗涤液,其中酶标抗原是辣根过氧化物酶标记的氯丙嗪半抗原,磁标抗体是免疫磁珠标记的氯丙嗪单克隆抗体。本发明还公开了一种利用上述试剂盒配套化学发光检测仪检测动物组织和牛奶中氯丙嗪残留量的方法,本方法对氯丙嗪检测具有较高的灵敏度、特异性和较短的检测时间。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
安普霉素的磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用

本发明提供了一种安普霉素的磁免疫化学发光检测试剂盒,它包括:酶标抗原、酶标抗原稀释液、磁标抗体、磁标抗体稀释液、安普霉素系列标准品溶液、化学发光底物A液、化学发光底物B液、复溶液、洗涤液,其中酶标抗原是辣根过氧化物酶标记的安普霉素半抗原,磁标抗体是免疫磁珠标记的安普霉素单克隆抗体。本发明还公开了一种利用上述试剂盒配套化学发光检测仪检测牛奶中安普霉素残留量的方法,本方法对安普霉素检测具有较高的灵敏度、特异性和较短的检测时间。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测单纯疱疹病毒I型IGM抗体的化学发光试剂盒及其制备方法

本发明公开了一种检测单纯疱疹病毒I型IGM抗体的化学发光试剂盒,包括阴性、阳性对照品,抗人Μ链单克隆抗体包被的固相载体,中和抗原,酶标记的单纯疱疹病毒I型抗体,化学发光底物液和浓缩洗涤液。其中,所述的酶为碱性磷酸酶,所述的化学发光底物液含有1,2-二氧乙烷类衍生物。使用本发明试剂盒检测单纯疱疹病毒I型IGM抗体,操作简便,灵敏度高,特异性好,与其他检测方法检验结果相符合。本发明还公开了一种检测单纯疱疹病毒I型IGM抗体的化学发光试剂盒的制备方法。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学发光增强剂及其制备方法和其在检测焦性没食子酸中的用途

本说明书实施例涉及焦性没食子酸检测技术领域,尤其涉及一种化学发光增强剂及其制备方法和其在检测焦性没食子酸中的用途。其中,该化学发光增强剂为:以正二价钴元素为中心原子和以2‑氨基对苯二甲酸为有机配体进行组装而形成的金属‑有机框架(MOFs)材料。该化学发光增强剂可以线性增强NaIO4‑H2O2体系的化学发光强度,对焦性没食子酸的检测灵敏度可以达到1×10‑7mol·L‑1。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测脂蛋白相关磷脂酶A2的化学发光酶联免疫试剂盒及其制备方法

本发明公开了检测脂蛋白相关磷脂酶A2的化学发光酶联免疫试剂盒及其制备方法。本发明所提供的检测脂蛋白相关磷脂酶A2的化学发光酶联免疫试剂盒,包括包被有抗脂蛋白相关磷脂酶A2单克隆抗体的化学发光板,其特征在于:还包括样品处理液;所述样品处理液主要由A液和B液组成;所述A液含有7.5g/L氯化铵、1.2g/L酪蛋白和1.2g/L硬脂酸钠;所述B液含有0.5M?Tris-Hcl,PH7.6。为最大限度减低Lp-PLA2发光检测噪音,本发明的试剂盒中还包括独特的血液样品处理剂配方,有助于淬灭非特异性光源,大大增强检测光与本底杂光的差别,增加检测特异性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一类糖类荧光化学传感器的制备以及用于水中汞离子的快速检测

本发明提供了一类糖类荧光化学传感器的制备以及用于水中汞离子(Hg2+)的直接快速检测。此类传感器在水溶液中对汞离子(Hg2+)有很高的选择性和灵敏性,与汞离子(Hg2+)选择性结合后,通过肉眼即可观察到溶液颜色由桔黄色变为红色,检测下限可以达到10-4M。不需要借助于仪器,就可以进行现场实时直接快速检测。糖类荧光化学传感器的具体结构如下(以氨基葡萄糖配体为例):其中糖基配体不单是氮基葡萄糖,还可以是其他所有的糖类化学物及其衍生物。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
聚碳酸酯类微塑料的解聚方法及其电化学检测方法

本发明涉及塑料检测技术领域,尤其涉及一种聚碳酸酯类微塑料的解聚方法及其电化学检测方法。所述解聚方法包括:将聚碳酸酯类微塑料和解聚试剂混合,加热至回流,进行解聚反应,而后纯化得到双酚A溶液;其中,所述解聚试剂选自氢氧化钠、氢氧化钾、氨水、Na2CO3、柠檬酸钠、硫酸镁、硫酸钾、磷酸钠、氯化钾中的一种或几种。所述电化学检测方法包括:利用所述的解聚方法对聚碳酸酯类微塑料进行处理,再对得到的双酚A溶液进行电化学测定。本发明实现了聚碳酸酯类微塑料的解聚,同时实现了聚碳酸酯类微塑料间接电化学检测,建立了聚碳酸酯类微塑料间接定性、定量检测方法。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于化学加热的CPCR扩增检测装置

一种基于化学加热的CPCR扩增检测装置,该装置包括化学加热反应器、导热模块、化学加热包、保温外壳、CPCR管和纸条检测芯片;通过水与化学加热包进行反应,产生热量对导热模块加热,由此实现对CPCR反应管底部的加热,使CPCR管底部温度维持在95±2℃,并保持一定时间直到CPCR扩增反应完成,反应结束后,将CPCR管移至纸条检测芯片并通过人眼判读检测结果完成检测。该装置利用化学加热产生的热量来实现CPCR扩增反应所需的等温加热,同时结合纸条检测由人眼判读检测结果,由此实现了无须外界电力的核酸扩增与检测,为实现适合野外或户外、不发达或偏远地区等无电力或电力匮乏环境下,准确、方便、快捷、低成本、高灵敏度的疾病诊断打下良好的基础。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械平坦化终点检测方法及装置

本发明提出了一种化学机械平坦化终点检测方法及装置,方法包括以下步骤:根据设定的平坦化工艺参数将平坦化材料在第一抛光台上进行平坦化,将采集到的反射光信号进行数据图形化处理得到第一表面图形及第二表面图形;在所述第一表面图形符合第一特征图形的情况下,根据第一特征图形在相应的区域内对所述平坦化材料施加背压力进行平坦化;在第二表面图形符合第三特征图形的情况下,根据第三特征图形在相应的区域内对平坦化材料施加背压力进行平坦化。本发明提高了平坦化材料的全局平坦化效果,保证了平坦化材料平坦化的加工质量,提高化学机械平坦化设备的一次加工合格率,大大降低了化学机械平坦化终点检测工艺开发的成本。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
氯霉素分子印迹电化学发光传感器及其检测氯霉素的方法

本发明实施例公开了一种氯霉素分子印迹电化学发光传感器,包括惰性电极和在惰性电极表面的氯霉素分子印迹聚合物薄膜;氯霉素分子印迹聚合物薄膜由以下步骤制得:以含有氯霉素和邻苯二胺的醋酸缓冲溶液为电解液,惰性电极为工作电极构建三电极体系;采用循环伏安法,聚合电位为0~0.8V,得到聚邻苯二胺-氯霉素薄膜;用洗脱剂洗脱后,获得氯霉素分子印迹聚合物薄膜;其中,醋酸缓冲溶液的pH值为5.2,醋酸缓冲溶液的物质的量浓度为0.05~0.2mol/L;氯霉素和邻苯二胺物质的量浓度分别为1~50mmol/L。本发明提供的氯霉素分子印迹电化学发光传感器,可用于检测氯霉素,并且检测灵敏度高,选择性好。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
林可霉素的磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用

本发明涉及了检测林可霉素的磁免疫化学发光试剂盒,包括的试剂有:酶标抗原,酶标抗原稀释液,磁标抗体,磁标抗体稀释液,林可霉素系列标准品溶液,化学发光底物A、B液,浓缩复溶液,浓缩洗涤液。酶标抗原是辣根过氧化物酶标记的林可霉素半抗原的标记物,林可霉素半抗原是由林可霉素中的醇羟基经重铬酸吡啶氧化后得到酮基林可霉素,酮基林可霉素再与氨基丁酸进行缩合反应,得到四碳链羧基半抗原,磁标抗体是林可霉素单克隆抗体与磁珠偶联得到。本发明还涉及一种采用所述的试剂盒配套化学发光检测仪检测牛奶和奶粉中林可霉素的方法,本方法对林可霉素检测具有较高的灵敏度、特异性和较短的检测时间。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微电极及其制备方法和在脑神经电化学检测中的应用

本发明提出了微电极及其制备方法和在脑神经电化学检测中的应用,所述微电极包括:气相生长碳纤维,其中,所述气相生长碳纤维的长度为5~10mm,直径为3~15μm,所述气相生长碳纤维的电导率为1~4×10‑5Ω·m,碳氧比为14~18,拉曼光谱中Id:Ig为(1~2):1。本发明所述方法制备的气相生长碳纤维长度长、直径大,可实现单根碳纤维的剥离,满足制备微电极的要求。并且,具有导电性好、石墨化程度高、表面化学状态稳定可控的优点。由此,赋予微电极良好的电化学检测性能,可以广泛地应用于电化学检测中,尤其适用于脑神经检测,具有较好的应用价值。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于非线性光谱原位检测的薄层电化学反应池

本申请公开了一种用于非线性光谱原位检测电化学体系中电极界面动力学过程的薄层电化学反应池,属于光谱电化学反应技术领域,解决了现有技术中的电解池中入射光被电解液吸收影响二阶非线性信号强度以及只适用于特殊形状工作电极造成的电解池使用局限性的问题。本申请的薄层电化学反应池包括工作电极、对电极、参比电极、电解池、导电底座和导电柱,参比电极、对电极和导电柱设于电解池的前端,工作电极设于导电底座上且位于电解池内;导电柱的一端与导电底座接触,另一端伸出电解池外,作为工作电极的引线。本申请的薄层电化学反应池可用于非线性光谱原位检测电化学体系中电极界面动力学过程的研究。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测地西泮的方法及其专用化学发光免疫试剂盒

本发明公开了一种检测地西泮的方法及其专用化学发光免疫试剂盒。本发明所提供的检测地西泮的专用化学发光免疫试剂盒,包括地西泮特异性抗体、包被原和标准品溶液;所述包被原为地西泮半抗原与载体蛋白的偶联物;本发明的检测方法,具有样品前处理过程简单、操作简便、费用低廉、特异性高、灵敏度高、精确度高等特点,能够现场监控且适合大量样本的筛查。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测克伦特罗的方法及其专用化学发光免疫试剂盒

本发明公开了一种检测克伦特罗的方法及其专用化学发光免疫试剂盒。本发明所提供的检测克伦特罗的专用化学发光免疫试剂盒,包括克伦特罗特异性抗体、包被原和标准品溶液;所述包被原为克伦特罗半抗原与载体蛋白的偶联物。本发明的检测方法,具有样品前处理过程简单、操作简便、费用低廉、特异性高、灵敏度高、精确度高等特点,能够现场监控且适合大量样本的筛查。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
选矿药剂电化学检测控制方法

本发明涉及一种选矿药剂电化学检测控制方法, 适用于矿物的浮选过程中。其特征在于 : a.通过小型实验得到最 佳药剂用量及最佳电化学参数△E’p、△E’15秒、△E’eq; b.从浮选搅拌槽内取出部分矿浆放入测量池中, 并插入离子选择性工作电极及参比电极, 不断搅拌; c.向测量池内的矿浆瞬间加入药剂; d.利用电化学测量方法得到△Ep、△E15秒、△Eeq值; e.计算测量池内矿浆最佳用药量; f.根据测量池的矿浆最佳用药量和处理的浮选矿浆量求出浮选搅拌槽内矿浆的合理药剂用量。其优点是离子选择性工作电极电位信号准确, 信息量大, 保持浮选过程处于最佳状态, 提高浮选的精矿品位和回收率, 减少药剂消耗, 实现浮选过程药剂添加自动化控制。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
气体泄漏检测装置以及化学试剂供给装置

本实用新型提供一种气体泄漏检测装置以及化学试剂供给装置,所述气体泄漏检测装置包括设置于一排风管道上的加热器、设置于所述排风管道出口处的检测器以及与所述检测器连接的报警模块。所述气体泄漏检测装置利用化学试剂如二氯乙烯受热产生分解物如氯化氢气体的特点,通过加热器加热排风管道内的化学试剂,通过检测器检测排风管道内是否存在氯化氢气体,进而来检测排风管道内是否有二氯乙烯的泄露,有利于提高产品良率。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
低温等离子体的化学检测方法

等离子体空间分布的检测方法。借助二苯基苦基酰肼与自由基的定量反应测定出在放电反应管内特定部位上被低温等离子体照射过的固体样品的表面过氧化基量,由此推断等离子体空间分布的均匀度。此法首次提出了利用化学反应进行等离子体诊断的方法,同传统的物理法诊断技术相比,简便、实用,可以将检测数据与等离子体化学反应的最终结果建立联系。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
流动式电化学发光生物传感检测系统

本实用新型提供了一种流动式电化学发光生物传感检测系统,所述系统包括流动注射进样单元、反应单元、磁分离单元和电化学发光检测单元;流动注射进样单元与所述反应单元连接,以将待检测样本溶液与包含检测探针的悬浊液混合后传输至反应单元,并在所述反应单元中进行充分反应得到反应后的混合液;磁分离单元将反应后的混合液中的磁珠与溶液分离,并将分离磁珠后的混合液传输至电化学发光检测单元进行检测,电化学发光生物传感器具有选择性高、响应时间短的优点,可实现微量目标物的测定,成本低廉,容易微型化和集成化的,通过电化学发光检测单元能够实现对待检测物质的快速检测,无需大型的检测设备且检测结果准确。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测表皮生长因子的电化学免疫传感器及其制备方法

本发明公开了一种检测表皮生长因子的电化学免疫传感器及其制备方法。该传感器由下至上依次由玻碳电极、修饰层a、修饰层b和修饰层c组成;其中,修饰层a为由式Ia或式Ib所示聚多巴胺构成的膜:式Ia和式Ib中,n均为1000-15000;修饰层b由表皮生长因子和谷胱甘肽构成,且所述表皮生长因子和谷胱甘肽均粘附于所述修饰层a上;修饰层c由表皮生长因子抗体修饰的纳米银溶胶制得。本发明通过表皮生长因子与其抗体的特异免疫识别反应,可构筑检测表皮生长因子的电化学免疫传感器。该传感器灵敏度良好、线性范围较宽,检出限低达0.2nmol/L,并有望用于实际样品中表皮生长因子的检测。式Ia式Ib

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
泼尼松的磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用

本发明提供了一种泼尼松的磁免疫化学发光检测试剂盒,它包括:酶标抗原、酶标抗原稀释液、磁标抗体、磁标抗体稀释液、泼尼松系列标准品溶液、化学发光底物A液、化学发光底物B液、复溶液、洗涤液,其中酶标抗原是辣根过氧化物酶标记的泼尼松半抗原,磁标抗体是免疫磁珠标记的泼尼松单克隆抗体。本发明还公开了一种利用上述试剂盒配套化学发光检测仪检测牛奶中泼尼松残留量的方法,本方法对泼尼松检测具有较高的灵敏度、特异性和较短的检测时间。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学药剂与绿僵菌联用对昆虫防治效果的检测方法

本发明公开了化学药剂与绿僵菌联用对昆虫防治效果的检测方法。本发明公开的化学药剂与绿僵菌联用对昆虫防治效果的检测方法,包括:1)用化学药剂与绿僵菌联合处理昆虫,得到联合处理昆虫;用化学药剂处理昆虫,得到化学药剂处理昆虫;用绿僵菌处理昆虫,得到绿僵菌处理昆虫;2)检测联合处理昆虫、化学药剂处理昆虫和绿僵菌处理昆虫的全酯酶、谷胱甘肽S‑转移酶、乙酰胆碱酯酶、几丁质酶、芳基酰胺酶、超氧化物歧化酶、过氧化物酶和过氧化氢酶的活性,计算增效指数,根据增效指数确定化学药剂与绿僵菌联用对昆虫的防治效果。实验证明,可以利用本发明的方法检测化学药剂与绿僵菌联用对昆虫防治效果。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
原位电化学检测用金属罐

本实用新型提供一种原位电化学检测用金属罐。包括一密封的罐体,罐体上固定穿设有绝缘电极柱,绝缘电极柱的顶端位于罐体外,其上还分别固定设置有一辅助电极接线端子和一参比电极接线端子;绝缘电极柱的侧面固定套设有筒状的辅助电极,在绝缘电极柱的底端固定嵌设一参比电极,辅助电极和参比电极位于罐体内,辅助电极通过辅助电极引线与辅助电极接线端子相连接,参比电极通过参比电极引线与参比电极接线端子相连接。本实施提供的原位电化学检测用金属罐,在无需打开或破坏金属罐的情况下进行原位电化学检测,消除了空气对溶液的氧化作用对检测结果的干扰,真实反映金属罐内腐蚀的发展过程,从而使推定得到同批出产的产品的剩余寿命更准确。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学荧光检测仪
化学荧光检测仪 1061     
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一种化学荧光检测仪,包括一测试台,测试台中具有一收容腔,沿测试台的上表面开设有一与收容腔连通的凹槽,收容腔中具有一可在收容腔中旋转的旋转件,旋转件设有一通过所述凹槽收容一待检测样品的通孔,测试台的底部具有一反射待检测样品荧光的反射镜,反射镜在旋转件旋转至一固定位置时位于通孔的正下方,所述化学荧光检测仪还包括一安装在测试台上且可通过通孔接收反射光和荧光的光探测装置、一根据光探测装置的输出信号计算待检测样品发出的荧光的数量的信号处理装置、及一显示荧光数量的显示装置,测试台、光探测装置及信号处理装置封装在一封装箱中,显示装置设于封装箱的外表面上。所述化学荧光检测仪具有高灵敏度和信噪比,且方便在检测现场使用。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械抛光中光谱终点的检测方法、装置及系统

本发明提供了一种化学机械抛光中光谱终点的检测方法、装置及系统,包括:根据晶圆表面被抛薄膜的光谱检测数据,确定被抛薄膜的平滑的光谱检测数据;根据平滑的光谱检测数据中关联的反射率数据与检测波长数据,确定平滑的光谱检测数据中的极值点及每个极值点对应的波长值;根据至少两个相邻极值点的波长值以及被抛薄膜的光学折射率,确定被抛薄膜的剩余厚度;在检测到被抛薄膜的厚度达到设定厚度阈值时,确定该被抛薄膜的厚度为抛光终点,以使化学机械抛光设备在抛光终点停止抛光;其通过计算晶圆表面被抛薄膜的剩余厚度,确定该被抛薄膜的厚度为抛光终点,提高了光谱终点的检测精确度,且提高了化学机械抛光设备的工作效率。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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