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北京北京有色金属分析检测技术理论与应用

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化学表达式提取方法、装置及设备

本发明提供一种化学表达式提取方法、装置及设备,涉及数据处理技术领域。本发明可以通过获取化学题文本数据,对化学题文本数据进行分词操作,得到化学题文本数据对应的至少一个分词,并确定至少一个分词中,与预设的化学表达式聚类中心之间的距离小于预设阈值的分词为目标分词,然后提取目标分词,可以得到化学题文本数据中的化学表达式,从而实现基于聚类分析从化学题文本数据中提取化学表达式。相对于现有的化学表达式提取方法而言,可以有效减少人工标注过程所耗费的大量的时间和成本,另外,还可以有效提高化学表达式提取的速度。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学实验装置
电化学实验装置 941     
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本发明提供了一种电化学实验装置。该电化学实验装置,包括:底座、盖体和压头部,底座开设有安装槽,盖体可拆卸地设置于安装槽内,盖体具有多个安装腔,多个安装腔间隔地设置,盖体的底部与安装槽的槽底之间具有间隙以形成导液空间,多个安装腔均与导液空间相连通,压头部用于将待检测物固定于安装腔内,至少部分的压头部可拆卸地设置于安装腔内;通过在盖体上可活动地设置有调节部,并利用操作调节部以改变盖体和底座之间的间隙的高度,进而检测不同缝隙对盖体的安装腔内的待测物的腐蚀情况。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
油管杆磨损采油井口检测装置和检测方法

本发明提供的这种油管杆磨损采油井口检测装置和检测方法,通过挡板将箱体分隔为相互独立的分离室和检测室,检测棒伸入检测室内检测总铁离子浓度,检测棒充分接触含水原油,使得检测棒中硫酸盐物质与铁离子发生化学反应,颜色发生变化,随着井下油管和抽油杆磨损程度的不同,采出液中总铁离子含量逐渐增加,测试棒中含有对铁离子高度敏感的物质,颜色变化非常明显,当总铁离子含量达到一定数量发生突变的时候,测试棒颜色显示异常,则可以取出测试棒与反应图谱对照,可以对井下管杆磨损情况进行预警,提示岗位工人可以考虑安排预检泵作业。测试的结果对油井生产管理有指导性,可以避免油井因杆断、油管漏失不出液引起高频次作业带来的损失。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于隔离法的电化学水体急性生物毒性评价方法

本发明公开一种基于隔离法的电化学水体急性生物毒性评价方法,包括:制备微生物分散液;将微生物分散液、微生物液体培养基分别与待测物溶液、去离子水混合后放置,离心,清洗,得到实验组和对照组菌体;实验组和对照组菌体分别分散到电子介体溶液后放置,得到实验组和对照组混合液;将实验组和对照组混合液分别离心,取上清液,搅拌并施加电压,用电化学工作站进行计时电流法检测;将实验组的稳态电流ie和对照组的稳态电流ic通过以下公式进行抑制率计算,评价待测物溶液的毒性:抑制率=(1‑ie/ic)×100%。本发明方法操作简单,适用各种重金属离子以及实际样品的急性生物毒性的检测,对水体急性生物毒性评估有很大的指导意义。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学强化生物除磷的装置与方法

本发明公开了一种化学强化生物除磷的装置与方法,属于污水处理领域,旨在解决生物除磷过程中出现的出水稳定性差、出水磷不达标等问题。所述装置包括进水箱、进水蠕动泵、生物除磷反应器、pH测定仪探头、pH自动加液控制机、搅拌自动调速装置、溶解氧及温度测定仪探头、多参数测定仪、总磷在线检测仪、模拟信号转化器、主控制器、变频器、微量加药蠕动泵等。所述方法是通过自动精准加药的方式向生物除磷反应器内投加微量四氯化钛絮凝剂进行化学辅助除磷,在实现化学除磷的同时强化生物除磷过程。该方法能够增强生物除磷系统中功能菌群的活性,通过生物与化学协同强化的方式使污水中的磷达到高效稳定去除。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于电极阵列的多参数电化学免疫传感器及其制备方法

本发明公开了一种基于电极阵列的多参数肺癌电化学免疫传感器及其制备方法,涉及生物传感器技术和生物电子技术。该传感器在基底上集成了电极阵列、对电极、电化学参比电极、引线以及接口。传感器采用微机电系统(MEMS)工艺加工制备基础电极阵列,在对电极和参比电极上采用银和氯化银(Ag|AgCl)进行修饰,在检测电极上固定电子媒介体,多孔屏蔽膜,纳米材料,抗体等,形成多参数检测体系。该传感器具有稳定性好,使用方便的特点,可以对多个肺癌标志物同时检测,有利于临床应用。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
增强鲁米诺体系的电化学发光生物传感器的制备方法

增强鲁米诺体系的电化学发光生物传感器的制备方法,属于生物传感器制备领域。本发明步骤:1)确定待检测的目标miRNA,并根据序列遵循碱基互补原则设计DNA探针序列;2)通过电化学循环伏安法,在玻碳电极表面电沉积金纳米颗粒,并将设计的DNA探针(5’端修饰巯基)通过金硫键连接到金纳米颗粒上;3)使用葡萄糖氧化酶封闭电极表面的非特异性结合位点;4)将目标miRNA与封闭后的电极反应,与DNA探针杂交后形成双链复合物;5)在杂交后的电极上滴加血红素溶液,该物质只嵌入miRNA‑DNA双链之间,可有效加速过氧化氢的分解并生成超氧阴离子,从机理本质上实现电化学发光的增强。本发明解决了鲁米诺体系发光信号弱,生物传感器检测灵敏度低的问题。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
判断原油经历硫酸盐热化学还原改造作用的方法

本发明属于油气藏勘探技术领域,涉及一种判断原油经历硫酸盐热化学还原改造作用的方法。该方法包括以下步骤:S1.对待测原油中的芳烃类化合物进行检测;S2.获取所述待测原油中的含硫芳烃类化合物的丰度与不含硫芳烃类化合物的丰度的比值;S3.将所述待测原油中的含硫芳烃类化合物的丰度与不含硫芳烃类化合物的丰度的比值与第一预设值进行比较,根据比较的结果,对原油经历硫酸盐热化学还原改造作用进行判断。本发明的判断原油经历硫酸盐热化学还原改造作用的方法具有普适性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
小型一体化旁流型ECT电化学水处理装置

本发明公开了一种小型一体化旁流型ECT电化学水处理装置,包括控制模块和一体化箱体,所述控制模块安装固定在一体化箱体的上端中间位置上,通过旁流泵的分离处理,使得不必和按常规旁流处理一样与系统泵并联,部分的分解并影响系统压力,从而便于进行安装使用,而有效固定排序,使得过滤、电化学处理有效集成,这样整体小型化设计,使得便于安装维护使用,在处理时,通过高频电子模块的高频利用与加药泵、加药桶、药筒底座和低液位传感器组合水处理药剂的结合方式,使得整体在处理的时候更加方便,而通过在线检测装置的检测处理,使得有效检测水源,而在控制的时候,因控制模块和一体化箱体的智能处理,从而便于智能控制使用。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于微流控芯片的溶解氧电化学传感器及制备方法

一种用于微流控芯片的溶解氧电化学传感器及制备方法,使用导电基底、透气膜层和电解质层制备出适用于微流控芯片的溶解氧电化学传感器,并实现了对电解质溶液中溶解氧的检测。本发明中导电基底可为丝网印刷电极、磁控溅射电极等常用材料的电极,溶解氧电化学传感器可根据需匹配的微流控芯片设计,切割成任意大小,形状和厚度;该溶解氧电化学传感器制备好后为全固态电极,储存方便,电极的制备过程简单,可操作性强;该溶解氧电化学传感器的透气膜层溶液与电解质膜层溶液配置好后可室温长期储存,节约成本;使用不同绝缘材料和导电材料的导电基底制备成的溶解氧电化学传感器,在溶解氧浓度在1~20mg/L范围内具有良好的线性响应。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学发光树状结构标记物及其制备方法

本发明公开了一种包含核酸、电化学发光分子和蛋白质/化合物的树状结构标记物;制备该树状结构分子的方法;以及形成该树状结构标记物的免疫检测试剂盒。其中所述的电化学发光分子与作为载体的核酸在多个位点结合形成高标记率的信号标记物,所述信号标记物与蛋白质或化合物以非共价键方式连接,形成树状结构;所述的标记方法可用于所有免疫测试(肿瘤标志物、传染性疾病、激素、心脏疾病、食品污染物、环境污染物等),能显着增加免疫检测中信号分子的数目,大幅度提高检测灵敏度。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法

本发明提供了一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法,该装置包括反应单元、碳源进给单元和真空检控单元;其中,所述反应单元用于进行化学气相沉积反应,所述碳源进给单元用于为所述反应单元提供气态碳源,所述真空检控单元用于控制和检测所述反应单元的真空度;所述碳源进给单元包括雾化器和汽化器。本发明一实施方式的用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置,通过设计结构简单的碳源进给器,替代传统的注射泵法、鼓泡法和加热法,使得碳源的控制更加精确稳定,且降低了生产成本。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学超微组合电极及其制备方法

本发明公开了一种电化学超微组合电极及其制备方法。本发明采用光刻技术将超微电极图形转移至基片上后,再次甩涂光刻胶,以光刻胶直接作为绝缘包封层,曝光将电极尖端部分的光刻胶刻蚀掉,形成微电解槽。此方法制作步骤相对简单,可一次性大量制备,并保证了电极暴露面积精确可控。制作得到的微电解槽在实验测试中显示出高传质速率、高信噪比、高电流密度等优良的电化学特性。电极位置固定,有利于得到重现性良好的结果。电解槽的容积小于1PL,可用于精确地限域并检测痕量电解液。以上结果都表明此类器件具备很好的微量痕量检测的能力。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学实验险情自动报警装置

本实用新型涉及化学实验防护装置技术领域,具体涉及一种化学实验险情自动报警装置,包括气体探测器、压力检测装置、控制装置、语音报警装置和安全控制装置。控制装置包括控制器和第一无线收发器,控制器的输入/输出端接第一无线接收器。安全控制装置包括第一电磁阀、第一单片机和第二无线收发器,第二无线收发器接第一单片机的输入端,第一单片机的输出端接第一电磁阀。气体探测器的输出端接控制装置中控制器的输入端,控制装置中控制器的输出端接语音报警装置的输入端。压力检测装置包括压力传感器、第二单片机和第三无线收发器,压力传感器的输出端接第二单片机的输入端,第二单片机的输出端接第三无线发射器。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汗液检测装置及汗液检测方法

本申请提出一种汗液检测装置及汗液检测方法,所述汗液检测装置包括:电极部,所述电极部包括活性电极、惰性电极和连接部,所述活性电极和所述惰性电极通过所述连接部相连,所述活性电极的化学性质比所述惰性电极的化学性质活泼,所述活性电极能够在汗液环境中发生反应,所述惰性电极不能在汗液环境中发生反应,所述连接部能够导电;以及封装部,所述封装部包括主体、取样排气口和压力计,所述主体为壳体,所述主体的内部形成有腔体,所述电极部设置于所述腔体的内部,所述取样排气口和所述腔体连通,所述压力计和所述腔体连通,所述压力计能够检测所述腔体内的气压。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
校园化学实验室给水减压系统

本实用新型公开了一种校园化学实验室给水减压系统,在实验室内的供给各实验水嘴的供水支干管上设置有能够调节开度的电磁阀,并在所述电磁阀与实验水嘴之间设置能够反馈电信号的与实验水嘴的高度保持一致的压力表。当所述压力表测得压力值大于0.02MPa时,反馈信号调小所述电磁阀的开启程度,增大局部阻力损失。当所述压力表测得压力值在0.01~0.02MPa时,所述电磁阀开启程度不变。当所述压力表测得压力值低于0.01MPa时,反馈信号调大所述电磁阀开启程度,减小局部阻力损失。本实用新型通过在接至化学实验室的支管上设置电磁阀,电磁阀下游设置压力表检测,通过压力表的读数反馈控制前端电磁阀的开启程度来控制局部压力损失,进而保证化学实验室用水的压力稳定。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
自支撑硼掺杂金刚石电化学传感器及其应用

本发明提供了一种自支撑硼掺杂金刚石电化学传感器及其应用。该自支撑硼掺杂金刚石电化学传感器的制备方法包括如下步骤:1)以纳米金刚石粉为种晶籽料,均匀铺在预处理后的金属基材的表面,机械研磨后得到种晶后的金属基材;2)将所述种晶后的金属基材利用热丝化学气相沉积技术进行镀膜;其中,在金刚石形核阶段,以甲烷为碳源,氢气为刻蚀气体;在金刚石生长阶段,以乙醇为碳源,硼酸三甲酯为硼源;3)脱膜后封装,即得。本发明提供的自支撑硼掺杂金刚石电化学传感器可以满足在线监测系统对传感器提出的精准长效检测要求,有效克服了BDD薄膜传感器工作寿命短的缺点,具有在线监测水体中重金属离子,尤其是Pb2+的应用潜力。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
尿液检测方法及尿液检测装置

本发明公开了一种尿液检测方法及尿液检测装置,先根据尿液待检测的成分的种类,选取与成分的种类数量相等份的预设体积的尿液,其中一份尿液用于检测一种成分;然后针对每一份尿液,根据待检测的成分,将尿液与固定质量的且与尿液中的待检测的成分能够发生化学反应的预设检测物混合;并检测尿液与预设检测物的混合液在预设时间段内的微电流值;再根据预设时间段内的微电流值计算微电流平均值;最后将微电流平均值与预先建立的预设成分含量与微电流平均值的对应关系表进行比较,确定尿液中待检测的成分的含量,其中预设成分为待检测的成分。从而可以直接获得尿液中需要检测的成分的含量,并不需要使用者具有医疗知识,因此使用方便。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
致敏性变应原化学发光法诊断试剂盒及其制备方法

本发明提供一种致敏性变应原化学发光法诊断试剂盒及其制备方法,所述诊断试剂盒包括包被有致敏性变应原的微孔板、辣根过氧化酶标记的抗人IgE抗体,化学发光底物液A和B以及洗涤液。其中,致敏性变应原为昆虫变应原、花粉变应原、真菌变应原或食物变应原中的一种或多种。本发明克服了不同蛋白在一个诊断试剂盒中灵敏度的差异,通过反复试验,调节各包被变应原量、酶标抗体浓度、化学发光底物液的配方和浓度,使每种变应原检测灵敏度达到最高。本发明的试剂盒比ELISA、免疫印迹、RAST方法变应原诊断试剂盒具有更高的检测灵敏度,安全可靠,操作简便,成本低廉。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
生鲜肉化学添加物筛查装置

本实用新型涉及农产品品质检测技术领域,提供了一种生鲜肉化学添加物筛查装置,包括:光谱接收装置,所述光谱接收装置具有信号接收端;光谱激发装置,所述光谱激发装置具有信号激发端;载物台,所述载物台用于放置待测样品,所述信号激发端和所述信号接收端朝向所述载物台;终端,所述终端分别与所述光谱接收装置及所述光谱激发装置连接。本实用新型给出的生鲜肉化学添加物筛查装置,可实现无损检测,且可利用待测样品的拉曼空间散射特征,更好的反应待测样品的内部信息,检测精度更高。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
食用油的质量检测系统及其检测方法

本发明涉及一种食用油的质量检测系统及其检测方法,所述系统包括用于检测食用油随温度变化的液体状态,并输出食用油随温度变化的液体状态参数的第一检测模块、用于提高被检测食用油中各种物质成分的浓度并对其进行检测,然后输出检测的状态参数的第二检测模块、用于控制所述第一检测模块和第二检测模块,并接收第一检测模块和第二检测模块的检测参数的处理器模块和用于接收并显示所述处理器模块发送的检测参数的显示模块。本发明针对食用油中的有害物质如过氧化物和多环芳烃(PAHs)等进行检测,因此能够检测出市场上存在的3类不同来源的地沟油;同时,本发明专利可以采用多种不同的物理、化学手段以提高检测精度,减少检测时间。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
井筒工作液化学窗口的确定方法

本发明提供的井筒工作液化学窗口的确定方法,将不同地层深度的多块第一岩心样品中每块样品等分成多块第二岩心样品;将每块样品中的多块第二岩心样品放置到不同浓度的井筒工作液中浸泡预设时间段,检测出现预设化学现象的多块第三岩心样品的单轴抗压强度值;确定单轴抗压强度值大于临界单轴抗压强度值的第四岩心样品;根据第四岩心样品对应的井筒工作液的浓度值,确定井筒工作液的化学窗口。上述方法克服了传统井筒工作液窗口确认中未考虑井筒工作液与地层化学作用的问题,通过引入井筒工作液活度公式,结合实验测试结果确定井筒工作液的化学窗口,为井筒工作液的选择依据,避免了由于井筒工作液与地层的化学反应影响井壁稳定性的问题。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电阻加热强化化学氧化修复污染土壤的装置

本发明公开一种电阻加热强化化学氧化修复污染土壤的装置。装置分为五个部分,包括电阻加热单元、电动传输单元、化学氧化单元、硫酸根回收单元、自动化控制单元。本发明将碳棒电极插入土壤,接入可调直流电源,利用土壤的电阻特性将土壤加热。同时,利用直流电对氧化剂的电渗流作用将其输送至目标污染区域。采用土壤pH检测传感器、电阻温度传感器和氧化还原电位传感器进行检测反馈,对土壤修复过程进行精准控制,同时对土壤中化学氧化后的硫酸根进行回收,降低修复成本且避免对修复土壤造成二次污染。本发明设备紧凑,移动性强,安全性高,投资成本较低,修复彻底,适用于修复含有机污染土壤,具有很强的实用性及推广价值。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高温高压实时监测溶氧、pH的缓蚀剂评价装置及检测方法

本发明提供了一种高温高压实时监测溶氧、pH的缓蚀剂评价装置及检测方法,包括高温高压反应釜、反应釜加热保温装置、电化学测试系统、溶解氧检测系统、pH测试系统、外接供气系统和计算机,其中外接供气系统包括:高压气瓶、减压阀、第一导气管和控制阀门。优点是当缓蚀剂加注后可以监测本体模拟溶液原位电化学信号和连续监测材料表面附近溶液的溶解氧含量及pH值变化,避免了在运行中的高温高压釜取样分析的危险,以及对试样的交叉污染,该发明对研究高温高压环境下缓蚀剂的电化学行为以及溶解氧含量、pH值对缓蚀剂缓蚀效果影响的研究具有重要的意义。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
阵列微细型孔的电化学加工工艺

本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心,将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的电化学加工工艺。其方法是采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极,对金属合金材料进行电解蚀除加工。如需加工较小深宽比的阵列微细型孔,所述阵列微细电极之间有绝缘胶填充并将端面磨平;如需加工较大深宽比的阵列微细型孔,所述阵列微细电极之间没有绝缘胶填充,但电极侧壁上覆有绝缘薄膜。绝缘处理减小了电解加工中杂散电场的不利影响。本发明利用阵列微细电极的电化学加工工艺,辅之以脉冲电源技术、微小间隙检测和控制技术,为阵列微细型孔提供一尺寸一致性好、具有批量生产特点的制作方法。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
印刷式电化学气体传感器

本实用新型涉及一种印刷式电化学气体传感器,应用于气体检测领域,该传感器使用丝网印刷的方式将电解液封装在更微小的传感器电解池中,并采用低成本的碳纳米导电管作为电化学传感器的三个电极,再通过插座式的连接方式与检测仪器连接,本设计是将铂金插槽作为电化学传感器的外部引脚,铂金插槽内嵌于传感器外壳当中,在仪器的电路板上采用铂金插针与传感器铂金插槽连接,这样正好与传统的连接方式相反,采用这种连接方式可在达到传统传感器基本性能的同时,降低传感器的成本并且减小了传感器的尺寸和安装尺寸。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
可控温的高、低温光化学反应器

本发明涉及光化学反应设备技术领域,尤其涉及一种可控温的高、低温光化学反应器,包括箱体和设置在箱体内的制冷单元、控制单元以及反应单元;制冷单元包括顺次循环连接的压缩机、冷凝器、回热器、电子膨胀阀、蒸发器、风扇为化学反应空间提供可调节的冷量;控制单元包括测温探头、控温装置、加热器;反应单元包括试管支架、反应试管、光源、磁力搅拌器、搅拌磁子。本发明一种可控温的高、低温光化学反应器对应于不同化学反应的不同温度需求,根据测温探头检测的温度与预设控温装置的温度对比调控加热量和制冷量,形成反馈调节,本发明可为化学反应提供恒定的、可宽范围调节的温度空间。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
大区域复杂背景区多元素地球化学异常识别方法

本发明提供一种地球化学异常识别方法,包括确定分析区域的待分析主元素和包括主元素的元素组合;基于各已知样品点的空间坐标和元素组合中各元素的含量,逐点计算各样品点的多元素加权异常值;根据各样品点的空间坐标和计算得到的多元素加权异常值,绘制地球化学加权异常图,其中,计算各样品点的多元素加权异常值包括:计算各样品点各元素在该样品点第一邻域范围内的局部背景;计算各样品点各元素相对于其局部背景值的局部异常值;以及计算各样品点所述第一邻域范围内主元素相对于其他各元素的局部相关系数。本发明的方法解决了现有技术中大区域复杂背景区难以实现多元素地球化学异常快速准确自动识别的问题。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电致化学发光细菌传感方法及多功能探针

本发明属于电致化学发光技术领域,特别涉及一种电致化学发光细菌传感方法及多功能探针。本发明在纳米金粒子上富集修饰葡萄糖氧化酶,构建一种多功能探针,利用电致化学发光的方法检测细菌。该探针上的葡萄糖氧化酶具有识别与催化双重功能,首先,葡萄糖氧化酶是一种糖蛋白,其携带的寡糖链可以与凝集素特异性识别结合,而且葡萄糖氧化酶能够催化葡萄糖氧化产生过氧化氢,过氧化氢能够促进鲁米诺的电致化学发光;另外,比表面积较大的金纳米粒子一方面起到了富集酶的作用,另一方面其自身也能催化鲁米诺发光。因此,利用本发明可以构建一种快速、简便、可靠、廉价且灵敏度高的方法用于细菌的检测。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械抛光设备及其预热方法

一种化学机械抛光设备及其预热方法,所述化学机械抛光设备包括:抛光垫;去离子水供应管路;抛光液供应管路;抛光垫修正器,还包括:加热装置,对流入所述去离子水供应管路中的去离子水进行加热;温度传感器,靠近所述抛光垫以检测所述抛光垫的温度;预热控制系统,与所述温度传感器相连,用于控制所述去离子水供应管路向所述抛光垫喷淋经加热的去离子水,在所述温度传感器检测到的温度达到或高于预设温度时,关闭所述去离子水供应管路,控制所述抛光液供应管路向所述抛光垫喷淋抛光液,同时启动所述抛光垫修正器对所述抛光垫进行打磨。本发明能够降低化学机械抛光设备在机台预热过程中对各种耗材的损耗,降低生产成本。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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