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广东有色金属无损检测技术理论与应用

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光纤检测装置
光纤检测装置 1007     
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本实用新型公开了一种光纤检测装置,包括光源组件、分光器、参考反射模块、样品扫描模块、光电探测器以及信号处理分析器,待测光纤置于样品扫描模块内,分光器具有输入端、参考光束出入端、样品光束出入端和干涉光输出端,光源组件与分光器的输入端光学连接,分光器的参考光束出入端与参考反射模块光学连接,参考反射模块用于接收参考光束并产生光程变化的参考反射光束,分光器的样品光束出入端与样品扫描模块光学连接,样品扫描模块用于将接收的样品光束对待测光纤进行扫描并产生样品反射光束,分光器的干涉光输出端与光电探测器的输入端光学连接,光电探测器的输出端电耦合到信号处理分析器的输入端。本实用新型可对光纤内部结构的几何参数进行非接触、无损伤的高分辨率检测。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于光纤数字同轴全息显微的细胞活性检测装置及方法

本发明提出一种基于光纤数字同轴全息显微的细胞活性检测装置及方法,涉及细胞检测技术领域,该装置包括激光光源发射单元、图像采集单元、载物台和计算机,其中,所述载物台上端平面设置有用于放置细胞液的透明载物窗口,激光光源发射单元设置于载物窗口下端,图像采集单元设置于载物窗口上端,图像采集单元的输出端连接计算机的输入端;本发明根据细胞及其环境介质对光具有不同折射率,通过细胞的光相对于通过环境介质的光在相位上会发生变化,确定细胞液全息图,通过傅里叶变换法重建反演细胞截面图像,利用反正切运算得到细胞真实相位图;根据细胞相位差与折射率差之间的比例关系确定细胞活性;实现对生物细胞的非侵入、无损伤的定量成像。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
载波调制非线性超声导波损伤检测方法

本发明公开了一种载波调制非线性超声导波损伤检测方法,包括根据检测对象的频率响应特性选取高低频率成分,将高频成分进行延时处理并与低频成分组合构成调制载波信号;采用单激励‑单接收方式进行信号采集,由单一激励换能器激发已调制的含高频成分与低频成分的调制载波信号,载波信号传播时与损伤相互作用产生非线性调制效应,并通过透射法由接收换能器采集;根据高频成分的到达时间和端面反射回波时间截取信号进行分析,对信号滤波和归一化处理后,采用经验模态分解方法对接收信号进行分解,根据分解的各IMF频谱信息选取包含基频和非线性频率成分的IMF分量进行信号重构;提取高频与低频调制旁瓣的差频分量,即非线性成分分量,计算非线性系数,以无损伤非线性系数为基准,对材料损伤程度进行评估。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于储罐声发射检测的实验装置

本实用新型属于石油化工设备无损检测技术领域,公开了一种用于储罐声发射检测的实验装置,实验装置包括由罐壁构成的储罐本体;所述储罐本体的上部是罐顶、下部是罐底;储罐本体的罐壁上分别安装有液位计、温度计等;本实用新型的实验装置可以针对储罐进行多种工况的模拟,如泄漏、裂纹扩展、摩擦等工况,实现对多种不同类型故障的声发射源信号的实验室内分析;此外,还能对同一工况进行重复实验和对多种工况进行组合实验,对故障声发射信号进行对比和分析。

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无损检测
广东 - 茂名 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微波热声早期肝癌检测装置及方法

本发明涉及一种微波热声早期肝癌检测装置及方法,其装置包括依次连接的微波触发器、微波发生器、发射天线、超声换能器、数据采集卡及计算机,微波发生器在微波触发器的触发下,经发射天线向被测人体的肝脏部位发射脉冲微波,利用热声效应激发产生超声波信号;超声换能器将超声波信号转换为电信号后,传输到数据采集卡,最后输入到计算机,采用滤波反投影算法和超声处理技术进行图像重建。本发明为无损检测技术,具有高对比度、高分辨率、大视野、易调节等优点。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于高光谱显微成像技术的细胞检测方法

本发明公开的一种基于高光谱显微成像技术的细胞检测方法,该方法通过细胞对光的透射、反射以及细胞自身自发荧光作用后,显微物镜对细胞进行放大,细胞的光信号经过液晶滤波器,滤波后单波段图像存储于CCD;通过图像预处理与光谱校正,建立细胞样本的多种光谱模型,在图像上对细胞进行分析。本发明利用高光谱显微成像技术对细胞进行检测,通过细胞的吸收、透射和自发荧光实现不同品种细胞的无损、快速、稳定、准确地鉴别,提供了细胞样本丰富的图像信息和光谱信息,通过设置液晶滤波器的中心波长和扫描范围,能够获得高质量的单波段显微图像,可用于细胞分类与鉴定,细胞内含物实时监测等。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪及其定量方法

本发明公开了一种棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪及其定量方法,一方面,本发明提供了一种便携式棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪,包括相铰接的箱盖和底座,所述的底座内设有内空的容置区,所述容置区底部设有底板及设于底板上的纵横布置的竖向分隔板,所述的底座通过底板、竖向分隔板及底座内侧壁分隔为安装有激光器的第一容纳区和安装有光谱仪及电源装置的第二容纳区,所述的竖向分隔板上方还设有横向支撑板;所述的激光器和光谱仪分别与光纤探头的输入端和输出端相连。另一方面,本方法还提供了一种棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪的定量方法。通过本发明可以进行精确高效的测量,并且实现环保快速无损。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于差值偏置检测的块浮点数据压缩方法及装置

本发明公开了一种基于差值偏置检测的块浮点数据压缩方法及装置,所述方法包括计算原始块浮点数据的调整量及无损压缩增益;根据所述无损压缩增益,判断所述原始块浮点数据是否存在差值偏置压缩增益;若是,则将所述调整量作为所述原始块浮点数据的块内差值偏置值;根据所述块内差值偏置值对所述原始块浮点数据进行偏置处理,生成第二块浮点数据;计算所述第二块浮点数据的最大数据位宽,继而根据预设的压缩系数调整参数及所述最大数据位宽计算浮点数据块压缩系数;根据所述浮点数据块压缩系数对所述第二块浮点数据进行压缩处理。通过实施本发明实施例能够提高压缩浮点数据时的压缩性能。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基桩缺陷检测用低应变扭转波激振装置

本实用新型公开了一种基桩缺陷检测用低应变扭转波激振装置,包括加载块、第一螺丝、第二螺丝、接收传感器,所述加载块包括贴合块、敲击块,所述贴合块沿基桩柱圆周壁方向的两端设有第一螺丝孔和第二螺丝孔,所述敲击块上的敲击面通过基桩柱轴;所述接收传感器设置于在基桩柱上加工出的孔洞中,且接收传感器与加载块同一水平;本实用新型基桩缺陷检测用低应变扭转波激振装置,加载块的设计使得激振加载简单,且安装简便、精确,对桩体基本无损伤,激振信号质量好。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
针对薄层压式电介质复合材料的超声检测装置及方法

本发明公开了一种针对薄层压式电介质复合材料的超声检测装置与方法,该装置包括载物台、数字超声波探伤仪、超声探头、机械臂组件、示波器以及计算机。计算机通过信号传输线给步进电机驱动器指令操控三自由度机械臂组件,数字超声波探伤仪产生超声信号并通过与之相连的超声探头穿过载物台中的耦合剂传输至待测薄层压式电介质复合材料的上表面,数字超声波探伤仪通过BNC传输线与示波器相连,并通过网线将波形数据传输至计算机。本发明能够对作为部分电力设备主绝缘的薄层压式电介质复合材料进行超声无损检测,进行超声声速、超声频谱和缺陷超声形貌分析,研究在长时运行状况下材料的缺陷分布与老化状态。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有全方位调整功能的检测头

本实用新型公开了一种具有全方位调整功能的检测头,应用于无损卷封检测设备上,其包括机体、X轴调整机构、Y轴调整机构、Z轴调整机构、旋转机构、视觉成像机构和扫描机构。所述X轴调整机构装设于机体上,所述Y轴调整机构装设于所述机体上,所述Z轴调整机构装设于机体内,所述旋转机构装设于机体内且位于Z轴调整机构下方,所述视觉成像机构和扫描机构装设于机体下端的两侧。所述X轴调整机构、Y轴调整机构和Z轴调整机构可同时对具有全方位调整功能的检测头进行全方位的位置调整,且旋转机构可调整所述视觉成像机构和扫描机构的角度,使得测试数据更加准确和全面。

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无损检测
广东 - 东莞 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于双波长激光的血氧饱和度检测装置及方法

本发明涉及一种基于双波长激光的血氧饱和度检测装置及方法,该装置包括触发式双波长激光光源、光纤头、扩束镜、反射镜、载物台、成像装置及电脑;载物台上嵌设毛玻璃;触发式双波长激光光源交替发射两种波长的激光,激光经过光纤头射向扩束镜,从扩束镜出来的激光通过反射镜反射射向置于毛玻璃上的被测样品并透射过被测样品进入成像装置,成像装置交替采集两种波长激光透射过被测样品的散斑信号并将其作为图像数据传输至电脑,电脑对接收的图像数据进行处理以获取被测样品的血氧饱和度。本发明能对被测样品无损伤地进行全场扫描,交替采集不同波长照射下的散斑信号能有效抑制被测样品位置改变和血氧含量改变带来的影响,检测的血氧饱和度精度高。

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无损检测
广东 - 佛山 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
室内墙埋电线无伤检测仪

本实用新型是一种室内墙埋电线无伤检测仪。包括有传感器模块(1)、多级放大电路模块(2)、单片机模块(3)、显示模块(4),其中传感器模块(1)的输出端与多级放大电路模块(2)的输入端连接,多级放大电路模块(2)的输出端与单片机模块(3)的输入端连接,单片机模块(3)的输出端与显示模块(4)连接。本实用新型采用无损检测技术,无伤墙面,成本低,灵敏度高,靠近通电电线时,强度变化显著;且定位准确,指示位置与电线实际位置误差小,仅为±0.5CM;简单易用,无需任何专业知识即可操作;结构简单,坚固耐用,安全可靠,无射线、超声波等释放,也不需要在电线上安装仪器,是一种方便实用的室内墙埋电线无伤检测仪。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
激光焊接检测设备
激光焊接检测设备 1024     
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本实用新型提供一种激光焊接检测设备,包括焊接装置、识别装置、检测装置、控制器及显示装置;识别装置用于扫码识别工件及与工件对应的治具和焊接参数,控制器能够根据识别装置获得的焊接参数控制焊接装置进行焊接;检测装置位于自工件反射的激光的光路上并包括第一传感器、第二传感器及第三传感器,控制器根据检测装置反馈的等离子体浓度、反射激光能量及熔池温度判断工件是否存在焊接不良;控制器能够控制显示装置显示识别装置获取的识别信息,还能够在判定工件存在焊接不良的情况下控制显示装置弹出报警窗口。本实用新型能够自动无损识别激光焊接过程中出现的不良品。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于检测复合材料面外纤维弯曲的双面超声成像方法

本发明涉及复合材料无损检测领域,特别涉及一种用于检测复合材料面外纤维弯曲的双面超声成像方法。该方法包括步骤:S1.基于脉冲回波法与层共振法,分别从复合材料层合板的上下两侧,对同一位置进行水浸聚焦垂直入射式超声B扫描;S2.利用解析信号技术提取出响应信号的瞬时相位,并生成相位B扫描图像;S3.通过结构张量方法分别对上下两侧的相位B扫描图像进行识别,并提取出每个像素点的角度;S4.计算相位B扫描图像划分的若干块内角度值的方差,并以上下两侧图像相对应位置的方差之反比加权修正,合成为最终的相位B扫描图像。本方法可实现复合材料制造过程中所形成的面外纤维弯曲的可视化成像,并显著提高成像精度。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超级电容器组荷电状态检测的方法及装置

本发明适用于超级电容器组储能技术领域,提供了一种超级电容器组荷电状态检测的方法及装置,所述方法包括:根据超级电容器组内超级电容器单体的电路模型确定状态方程和输出方程;实时检测超级电容器组中N个待测目标的工作电流值和端电压值;所述待测目标为超级电容器单体;其中,N大于或等于2,且小于超级电容器组内所有超级电容器单体的数量;根据所述待测目标的工作电流值和端电压值、无损卡尔曼滤波算法、强跟踪滤波算法以及所述状态方程和输出方程计算所述待测目标的荷电状态值;根据所述待测目标的荷电状态值计算所述超级电容器组的荷电状态值。本发明的方法及装置可精确测量超级电容器组的荷电状态。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
弯边机的模具检测装置

本实用新型公开了一种弯边机的模具检测装置,包括有模具安装座,所述模具安装座上可拆卸地安装有至少一个能与工件配合用于辅助工件弯边的模具;所述模具安装座连接设有驱动装置,所述驱动装置能带动所述模具安装座运动;还包括传感器,所述传感器用于检测所述模具是否损坏。本实用新型在实际应用中,在模具安装座上可拆卸地安装有能与不同规格的工件相匹配的模具,通过驱动装置驱动模具安装座运动,能对不同规格的工件进行连续加工,实现自动换模,同时能检测模具是否完好无损,操作方便。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
对叶表结构不敏感的叶绿素含量的检测方法

本发明公开了一种对叶表结构不敏感的叶绿素含量的检测方法,涉及利用光学手段来测量叶绿素含量的方法技术领域。所述方法包括:获取植物叶片表面高光谱反射率;测量叶绿素含量;对九种类型的植被指数和叶绿素含量建立回归方程,求取相关系数和均方根误差;对三十六种已发表的植被指数和叶绿素含量建立回归方程,求相关系数和均方根误差;确定对叶绿素含量变化最敏感和最不敏感的波段;确定九种类型的植被指数中对叶表结构最不敏感的植被指数类型;基于叶片正反面光谱信息开发新的估测叶绿素含量的植被指数,使用新的对叶表结构不敏感的植被指数检测植物叶片的叶绿素含量。所述方法能快速、准确、无损的检测植物叶片中叶绿素的含量。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
针对大型铸件的X-RAY检测机

本实用新型公开了一种针对大型铸件的X‑RAY检测机,包括机架,所述机架的底部固定设置有滑块,所述滑块滑动设置在滑轨上,所述滑轨固定设置在支撑板上,所述支撑板固定设置在升降架的顶部上,所述机架的左侧设置有两个相互平行的安装立柱,所述安装立柱之间滑动设置有活动门,所述活动门上滑动设置有X光发射器,所述安装立柱的左侧设置有取放料平台,所述机架内滑动设置有工作台,所述机架的右侧底部固定设置有Y轴驱动电机,所述滑轨的底部固定设置有X轴驱动电机。本实用新型通过设置安全光栅、X光发射器、X光接收器、升降架和活动门,解决了传统的X‑RAY检测机难以全方位的对大型铸件或零件进行无损检测的问题。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于无线网络的金属携带检测方法

本发明提供一种基于无线网络的金属携带检测方法,包括以下步骤:步骤s1,在室内安装无线信号发送装置和无线信号接收装置;步骤s2,无线信号发送装置连续发送无线电磁波信号;步骤s3,无线信号接收装置不断接收无线电磁波信号;步骤s4,通过信号异常检测系统不断的对接收到的无线电磁波信号进行异常分析,当分析后被判断为异常,则将异常波段的无线电磁波信号交由步骤s5进行进一步分析;步骤s5,通过数据特征分析系统对异常波段的无线电磁波信号进行特征值提取,并与异常特征库保存的特征进行对比和匹配,当无线电磁波信号的特征与金属特征成功匹配,则触发警报装置。本发明方便安装部署,成本低,对人体无损害,检测范围大,速度快。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
真空电子器件内部真空度检测方法

本发明公开了一种真空电子器件内部真空度检测方法,包括:确定真空电子器件的加电方式和加电参数;将真空电子器件的标准样管与离子流测量系统连接;将标准样管进行抽真空,使标准样管内达到需要对标的真空度;测量标准样管在所对标的真空度下的阳极离子流;测试不同的对标真空度下的离子流,完成离子流与真空度对应关系的标定工作,得到离子流‑真空度标定表或离子流‑真空度量化模型;将真空电子器件的待测样管与离子流测量系统连接;测量待测样管的阳极离子流;对照离子流‑真空度标定表或将所测量的阳极离子流代入离子流‑真空度量化模型,获得待测样管的真空度。本发明能够对真空电子器件内部真空度进行高真空、高测量精度的无损检测。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于开关柜母线表面材质自动检测的机器人系统

本发明涉及电气开关柜检测的技术领域,公开一种用于开关柜母线表面材质自动检测的机器人系统,包括四自由度移动平台、工业机器人和材质检验仪:所述四自由度移动平台包括平行设置的第三水平移动导轨和第四水平移动导轨构成纵向水平直线导轨、横向水平移动导轨;垂直立柱导轨通过旋转气缸与横向水平移动导轨上的水平移动滑块连接;工业机器人安装在垂直立柱导轨的垂直移动滑块上;所述水平移动导轨和垂直立柱导轨上设有驱动滑块运动的驱动器和控制器。本发明能够实现现场快速、准确无损地对开关柜母线表面材质进行可靠性鉴别和确认,掌控材料品质,进而准确判断出开关柜母线材质的纯度,有效防止原材料混料,确保开关柜的安全和质量。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电池模块组连接处导通性的检测装置

本实用新型公开了一种电池模块组连接处导通性的检测装置,包括测试仪、电脑主机和显示器,所述测试仪的输出端与电脑主机的输入端电性连接,所述电脑主机的输出端与显示器的输入端电性连接,所述测试仪的中部嵌接有电阻测试表和电流测试表,所述测试仪通过接线旋钮上旋接的导线分别与测试正电极和测试负电极相连接,所述测试正电极和测试负电极的一端均连接于母材上。该种实用新型通过能够判断出电池模块组连接导通性的好坏,不会损坏焊接焊点,达到无损检测的目的,而且通过比较不同电流下工件电阻值的变化程度(即线性直线的斜率)与标准值的差异,判断连接处的导通性是否良好,极大地排除了工件温度等其他因素对测量数据的影响。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
毛发中毒品提取试剂盒、提取方法和检测方法

本发明涉及一种毛发中毒品提取试剂盒、提取方法和检测方法,该提取试剂盒包括复合提取液,所述复合提取液中含有二硫键还原剂、氢键阻断剂、毛发膨胀剂以及溶剂,所述复合提取液呈碱性,pH为8.5~10。该毛发中毒品提取试剂盒使用还原法水解毛发,前处理无需特殊粉碎设备和提取设备,水解时间短,整个提取过程操作简单,相比较传统的酸法、碱法、甲醇溶剂法、缓冲盐溶液法和酶法等方法更适合实验室司法鉴定的快速检测的需求。进一步,该提取试剂盒中复合提取液所用试剂均为水溶性试剂,易于有机试剂液液萃取,从而可以快速分离得到待测溶液,并且所用的试剂对环境基本无污染,对操作人员无毒害,易清除无残留,对仪器设备也基本无损伤。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
粉体材料中金属可磁化颗粒的检测方法

本发明提供了一种粉体材料中金属可磁化颗粒的检测方法。上述粉体材料中金属可磁化颗粒的检测方法包括:步骤S1,将粉体材料与吸附工具搅拌后,收集吸附工具上的吸附物;步骤S2,对吸附有吸附物的吸附工具进行冲洗,得到第一冲洗液;步骤S3,对第一冲洗液进行第一超声分散得到超声分散液,并利用磁吸附对超声分散液中的金属进行富集,最终得到金属富集液;步骤S4,将金属富集液中的金属颗粒进行分散处理后过滤,得到金属颗粒;步骤S5,对金属颗粒的形貌、尺寸、数量进行检测。本申请从粉体材料分离提取金属杂质,并且不引入其它物质,保留金属杂质原有的特征形貌,金属异物无损伤,准确性高。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
锈蚀状态下金具的抗拉强度检测方法、装置、终端设备

本发明公开了一种锈蚀状态下金具的抗拉强度检测方法、装置及终端设备,所述包括:获取待测已锈蚀金具的初始金具厚度、初始金具面积、锈蚀深度以及锈蚀面积;根据所述初始金具厚度以及锈蚀深度计算锈蚀深度比,根据所述初始金具面积以及所述锈蚀面积计算锈蚀面积比;根据所述锈蚀深度比及锈蚀面积比,从预设的抗拉强度下降比曲线中提取与相对应的抗拉强度下降比值;根据所述抗拉强度下降比值以及所述待测已锈蚀金具未受锈蚀时的原始抗拉强度,确定所述待测已锈蚀金具的抗拉强度。通过实施本发明能够以无损的方式对已发生锈蚀的金具的抗拉强度进行检测。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
钢管管端自动X射线检测装置

本实用新型公开了一种钢管管端自动X射线检测装置,涉及无损检测装置技术领域,包括用于输送钢管的输送机构和布置在钢管一端的第一检测机构,所述第一检测机构包括可提供底片的第一底片运输装置、夹持底片移动的第一机器人以及至少一台用于产生X射线的第一X射线装置。本实用新型通过设计具有第一机器人的第一检测机构,在钢管管端处实现了取放底片动作自动化,从而免去了人工放置底片所需要的时间和人力。

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无损检测
广东 - 珠海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于高光谱成像检测虾仁品质的目标区域提取方法

本发明公开了一种基于高光谱成像检测虾仁品质的目标区域提取方法,首先制备利用高光谱成像系统扫描的虾仁训练样本的高光谱信息,并对高光谱图像进行预处理,通过统计数据分析选择最优波段范围,建立基于径向基核函数的软支持向量机分类模型,再对虾仁待测样本进行检测,计算出虾仁待测样本的目标区域。本发明通过采用高光谱成像技术,明显减少传统手工方法所需时间,提高检测效率,可以有效实现自动、快速、无损、在线检测的目的。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
裂纹检测方法及装置和增材制造系统

本发明实施例公开了一种裂纹检测方法及装置和增材制造系统。其中,该裂纹检测方法包括:在增材制造设备制造目标零件过程中,通过声波传感器实时采集增材制造设备的扫描点处的声波信号;根据声波信号,确定扫描点处的裂纹的产生情况。本发明实施例的技术方案可以实现在增材制造过程中对零件进行实时地无损监测,可以准确获取零件产生裂纹的时刻和位置。

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无损检测
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
SOI晶圆质量检测方法及系统

本发明提供了一种SOI晶圆质量检测方法及系统,检测方法包括如下步骤:提供SOI晶圆,SOI晶圆包括衬底层、埋氧层和半导体层;放置第一压力探针和第二压力探针;将第一压力探针接地,对第二压力探针施加恒定的第一电压,对衬底层施加变化的第二电压;根据不同第二电压及所对应的第一电流数据提取测试表面迁移率,并与理论表面迁移率进行比对,以评估SOI晶圆的质量。本发明针对SOI晶圆质量的快速评估需求,通过对测试结构进行电流电压测试,提取表面迁移率,与理论值进行比对,揭示了能够表征SOI晶圆质量的电学特性,实现了对SOI晶圆质量的无损评估,对于太阳能电池SOI晶圆的工艺开发具有重要意义。

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无损检测
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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