
钨硅靶材采用电子束熔炼钨粉(≥99.995%)与半导体级多晶硅(≥99.9999%),通过反应等离子烧结(RPS)+热等静压(HIP)工艺制备的超高温互连功能靶材。

钨铟锌锡靶材(WInSnSe)是以高纯钨(W)、铟(In)、锡(Sn)及硒(Se)为原料,通过机械合金化与真空热压烧结技术制备的四元硫族化合物靶材,纯度≥99.98%,密度≥6.8 g/cm³。其具备宽光谱吸收(0.8-1.5 eV可调带隙)、高热电优值(ZT≥0.8 @500K)及柔性兼容特性,适配磁控溅射、化学气相沉积(CVD)等工艺,用于沉积柔性光伏薄膜、红外探测器及热电转换器件功能层。

二硅化镍(NiSi2)靶材基本信息:分子式:NiSi₂;纯度:99.95%;CAS号:12265-55-3;摩尔质量:115.87 g/mol;

二硅化钛(TiSi2)靶材基本信息:分子式:TiSi₂,纯度:99.95%,CAS号:12039-83-7;