特性 |
典型值 |
测试方法 |
平均层数 |
≤10 |
光学显微分析 |
片径 |
1~20μm |
光学显微分析 |
薄膜电导率 |
≥300S/cm |
四探针测试 |
碳氧比 |
6~10 |
X射线光电子能谱 |
水分 |
≤3.0% |
烘干法 |
灰分 |
≤1.0% |
高温灼烧 |
外观 |
黑灰色 |
目测 |