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表面缺陷检测系统

570

规格/型号：Candela® 8420

品牌：中海远创

应用领域：检测设备

产地：北京 - 北京

厂家/供应商：北京中海远创材料科技有限公司

咨询电话:：010-8462 0179（请说明信息源自“中冶有色网”）

更新时间：2025-07-02

级别：待认证

表面缺陷检测系统说明介绍

Candela® 8420 表面缺陷检测系统

Candela 8420是一种表面缺陷检测系统，它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆（如砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石和其他化合物半导体材料）提供微粒和划痕检测。8420表面缺陷检测系统采用了OSA（光学表面分析仪）架构，可以同时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位变化，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。只需几分钟即可完成全晶圆检测，并生成高分辨率图像和自动化检测报告，同时附带缺陷分类和晶圆图。

产品说明

Candela 8420晶圆检测系统可以检测不透明、半透明和透明晶圆（包括玻璃、单面抛光蓝宝石、双面抛光蓝宝石）的表面缺陷和微粒；滑移线；砷化镓和磷化铟的凹坑和凸起；表面haze map；以及钽酸锂、铌酸锂和其他先进材料的缺陷。8420表面检测系统用于化合物半导体工艺控制（晶圆清洁、外延前后）。其先进的多通道设计提供了比单通道技术更高的灵敏度。CS20R配置的光学器件经过优化，可用于检测化合物半导体材料，包括光敏薄膜。

功能

检测直径达200毫米不透明、半透明和透明化合物半导体材料上的缺陷

手动模式支持扫描不规则晶圆

支持各种晶圆厚度

适用于微粒、划痕、凹坑、凸起和沾污等宏观缺陷

应用案例

衬底质量控制

衬底供应商对比

入厂晶圆质量控制 (IQC)

出厂晶圆质量控制 (OQC)

CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

晶圆清洁工艺控制