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俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统

508

规格/型号：暂无

品牌：科睿设备

应用领域：检测设备

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：科睿设备有限公司

咨询电话:：852-2710-8200（请说明信息源自“中冶有色网”）

更新时间：2025-06-16

级别：待认证

俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统说明介绍

俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统

俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统是一种用于薄膜及合金表面深度分析的设备，结合了俄歇电子能谱（AES）、低能电子衍射（LEED）和氩离子溅射深度分析技术。它能够实现对薄膜和合金的元素组成、原子结构和深度分布的“亚纳米级”精度分析，适用于大范围样品的半自动化操作。系统配备延迟型区域分析器、双静电透镜电子枪、磁场内电子冲击离子源、线型磁动样品传输臂和超高真空腔体等组件，支持样品预抽真空室（load-lock腔室），具备高精度和高真空度的特点，可用于多种材料的表面分析。

俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统，又称俄歇电子能谱AES及低能电子衍射LEED样品表面深度分析系统。基于俄歇电子能谱AES、低能电子衍射LEED、及氩离子溅射深度分布的分析系统，完成对薄膜及合金的元素组成和深度分布的分析。

非接触式测量薄膜及合金元素组成。

带样品预抽真空室（load-lock腔室）。

特性：

-对原子结构，元素组成和厚度分析达到“亚纳米级”精度

-大范围样品分析

-半自动化操作

系统特性

俄歇电子能谱AES分析器

分析器型号-延迟型区域分析器，自带同轴电子枪

能量分辨率：<5%

工作距离 10mm