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华东	上海上海保税区江苏南京无锡徐州常州苏州南通连云港淮安盐城扬州镇江泰州宿迁南京港宜兴浙江杭州宁波温州绍兴湖州嘉兴金华衢州台州丽水舟山安徽合肥芜湖蚌埠淮南马鞍山淮北铜陵安庆黄山阜阳宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州厦门漳州泉州三明莆田南平龙岩宁德江西南昌九江上饶抚州宜春吉安赣州景德镇萍乡新余鹰潭山东济南青岛淄博枣庄东营烟台潍坊济宁泰安威海日照滨州德州聊城临沂菏泽莱州港龙口港黄岛前湾港董家口港日照港青岛港威海港烟台港邹平莱芜
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台阶仪

135

规格/型号：暂无

品牌：Bruker/布鲁克

应用领域：分析检测

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：上海尔迪仪器科技有限公司

咨询电话:：021-61552797（请说明信息源自“中冶有色技术网”）

更新时间：2025-02-12

级别：待认证

台阶仪说明介绍

Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪

Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的形象，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

Dektak Pro可提供：

测量和分析功能，确保每次都能获得准确、严谨的数据

多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换

通过直驱扫描平台和软件进步，减少获得结果的时间

Dektak Pro产品参数

测量技术：探针轮廓测量(接触测量)

测量功能：二维表面轮廓测量;可选三维测量

样品视野：可选放大倍率， 0.275到2.2 mm

探针传感器：低惯量传感器(LIS 3)

探针压力：1到15 mg，使用LIS 3传感器

低作用力：N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg(可选)

探针选项：

探针半径选项从50 nm到25 μm;

高径比(HAR)针尖200 μm x 20 μm;

可根据客户要求提供定制针尖

样品台 XY载物台：

手动100 mm(4")，手动调平;

电动150 mm(6")，手动调平;

带编码器电动200 mm(8")，手动调平

样品旋转台：手动或自动，连续360°

减震装置：减震装置可用(选配)

扫描长度范围：55 mm(2");200 mm(8")具备扫描拼接能力

每次扫描数据点：可达120,000个数据点

样品厚度可达：50 mm (1.95")

晶圆尺寸可达：200 mm (8")

台阶高度重复性：4 Å, 1 sigma ( ≤1 μm 标准台阶样品)

垂直范围：1 mm (0.039")

垂直分辨率：1 Å (@ 6.55 μm 范围)

输入电压：100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

温度范围：工作范围20到 25°C (68 到 77ºF)

湿度范围：≤80%, 无冷凝

系统尺寸与重量：

尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);

重量：34 kg(75 lb);

外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" Lx 23" W x 17.5" H);

外壳重量：5.0 kg(11 lb)