超高真空退火炉
超高真空退火炉是专为金属薄膜和金属丝的退火与还原处理等热处理工艺实验设计的设备,具备极限真空8x10⁻⁴Pa和工作真空8x10⁻⁴Pa(在1000℃退火温度下)的性能指标,确保在高温下维持高真空环境。该炉采用中400x400(mm)立式柱状双水冷不锈钢结构,能够实现常温至1500℃的温度变化范围,具备程序控温和高精度控温能力,均温区尺寸为Ф80x120(mm)。系统由真空抽气机组、真空室、测量系统、加热控温系统、电动升降系统、气路系统、液氮冷阱及台架等组成,并通过计算机实现控制,满足长时间高温处理需求。
一、主要用途:
设备主要用于实现金属薄膜以及金属丝的退火与还原处理等热处理工艺实验。
二、技术指标:
1.真空指标:极限真空:8x10-?pa:恢复真空:5X10-a(2h),5x10-pa(6h);工作真空:8x10-pa;(1000℃退火温度下)
2.系统结构:中400x400(mm)立式柱状双水冷不锈钢结构
3.温度:温度变化范用;常温~1500℃;程序控温:升温速率0.1℃~30℃/min;可控;控温精度:常温~800℃,±1℃;801℃~1500℃,±1.5℃;1000℃温度持续时间不少于20小时
4.均温区尺寸:Ф80x120(mm)
5.计算机实现控制。
三、系统组成:
系统主要由真空抽气机组、真空室、真空测量系统、加热控温系统、电动升降系统、气路系统、液氮冷阱及台架等组成。