VLF-D(冷坩埚定向凝固炉)
VLF-D冷坩埚晶体生长炉
冷坩埚定向凝固炉是将分瓣水冷铜坩埚置于强大的交变磁场中,利用感应涡流加热水冷铜坩埚中的金属使其融化,并利用电磁力使熔融金属与水冷铜坩埚保持非接触状态。这样可以避免坩埚对需要熔炼材料的污染。金属熔化后,籽晶杆边旋转边提拉,从而能够生长出高纯度的金属单晶或合金单晶。
一、设备特点
1. 采用卧式炉体,侧部开门结构,进出料方便,炉体结构紧凑,占地空间小。
2. 支持30段程序控温,控温精确,可以控制升温速率和恒温时间。
3. 可更换不同的线圈以满足熔炼不同量的物料需求。
4. 配有观察孔,可以清晰查看炉内坩埚和物料的情况。
5. 可选配红外测温仪,精确测量坩埚内液体温度。
6. 配有分子泵机组,真空度可达5×10-4 Pa。
7. 电极和坩埚可在炉体外手动转动,液体可在腔体内倾倒和浇铸,避免了浇铸的危险,并可在真空下操作。
8. 具有二次加料系统。
9. 转动电极和炉体之间采用威尔逊密封,密封性能好,转动轻松。
10. 可选配水冷机,具有欠压和断水报警,使用安全可靠。
11. 采用IGBT电源,具备过温、断水保护,并有报警和输出电流显示功能。
12. VLF系列真空悬浮熔炼炉是真空或保护气氛条件下用于高纯熔炼、铸造金属材料(如钛、镍、钴等合金)及
稀土超磁、伸缩合金、溅射靶材、
多晶硅、高纯稀土金属的理想设备,广泛适用于大专院校、科研院所和工矿企业。
二、设备优点
1. 能够熔炼高熔点的金属材料。
2. 由于没有坩埚杂质,可生长超高纯度的金属单晶。
3. 缩短熔化时间,实现快速熔化。
4. 水冷铜坩埚损伤较小,寿命长。
5. 水冷铜坩埚与熔融金属液软接触,减少冷却负载,降低能耗。
6. 金属熔液在非接触状态下易于从坩埚内倒出。
三、水冷系统(选配)
感应炉和水冷铜坩埚上需要水冷却。
四、结构说明
本产品由炉盖、炉体、回转机构、浇铸装置、充气系统、真空系统、IGBT电源控制系统等组成。
1. 炉体:为全不锈钢结构,采用双层水冷结构,确保炉壳温度不超过60℃。炉盖手动开启并配有锁紧装置,带观察孔,方便查看炉内情况。
2. 炉架:由型钢钢板组焊成柜架结构,炉体安装在炉架上。
3. 回转机构:通过法兰连接感应线圈,线圈由铜管绕成螺旋形从炉体引出,密封采用威尔逊密封,可靠性高。坩埚可通过旋转机构任意角度旋转完成溶化后的倾倒浇铸。
4. 真空系统:采用二级泵(扩散泵或分子泵)与直联泵组合,配有高真空挡板阀以及KF快速连接真空放气阀和充气阀。
5. 电源控制系统:采用IGBT悬浮专用电源和全数字电路,电气系统设有过流、过压保护,电控屏按西门子标准制作,控温精度高,操作便捷。
6. 水冷系统:包括各种阀门和管道,具备断水时声光报警及自动切断加热电源功能。
7. 水温检测:安装温度计检测水冷铜坩埚的出水温度,温度过高时自动保护,防止坩埚损坏。
8. 精密提拉机构:支持边旋转边提拉操作。
技术参数