0.50mm，相比于现有技术，大大缩小了两个隔膜间的距离，隔膜工作时变形量较小，不容易发生破裂，提高了隔膜的可靠性和寿命。此外，相比于现有技术在中间环的侧部加工孔，在中间环上加工连通槽的难度小，效率高，可以利用冲压、线切割等高效率的加工方式，有利于降低隔膜泵的成本。
[0008]
较佳地，所述隔膜组件还包括夹设于所述隔膜与所述中间环之间的支撑件，所述支撑件覆盖于所述连通槽。
[0009]
在本方案中，若隔膜直接覆盖于连通槽，隔膜受压会挤入到连通槽中，从而造成连通槽堵塞，传感器无法与中间腔连通，同时隔膜也容易发生损坏。通过在隔膜与中间环设置支撑件，能够防止隔膜挤入连通槽中。支撑件的材料优选为不锈钢。
[0010]
较佳地，所述支撑件为环形，所述支撑件与所述中间环同轴设置。
[0011]
在本方案中，环形的支撑件能够全面地覆盖于中间环，同时不影响隔膜的往复变形。优选地，隔膜的直径、中间环的外径与支撑件的外径都相同。
[0012]
较佳地，所述中空腔具有环形槽，所述隔膜组件设置于所述环形槽内，所述中间环和所述支撑件的内径都大于所述环形槽内侧边缘的直径。
[0013]
在本方案中，隔膜组件固定于环形槽内，中间环和支撑件的内径可以都比环形槽内侧边缘的直径大0.5-1.1mm，因此不会影响隔膜的变形。
[0014]
较佳地，所述连通槽沿折线或曲线路径延伸。
[0015]
在本方案中，连通槽为蜿蜒曲折的形状，能够分散压力，减少隔膜和支撑件在连通槽处的变形。
[0016]
较佳地，所述连通槽沿轴向贯穿于所述中间环。
[0017]
在本方案中，连通槽为贯穿的槽，便于槽的加工。连通槽也可以仅设置在中间环轴向的一侧，即连通槽在轴向上不贯穿于中间环，连通槽与同侧的支撑件或隔膜构成一连通通道，传感器能够通过该连通通道连通于中间腔。
[0018]
较佳地，所述传感器为压力表，所述压力表与所述中间腔相连通以测量所述中间腔内的压力。
[0019]
在本方案中，当隔膜破裂后，中间腔与一腔体连通，中间腔的压力发生改变，因此通过压力表能够监测到隔膜发生破裂。
[0020]
较佳地，所述压力表与所述中间腔之间设置有单向阀。
[0021]
在本方案中，单向阀使得中间腔内的气体仅能够朝向压力表流动，使得中间腔内的气体尽可能多地通过单向阀排出。
[002
声明：
“隔膜破裂监测装置及包括其的隔膜泵的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：艺达思科技（苏州）有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
