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硅片切割刃料的生产方法

982   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:29:00
本发明涉及一种硅片切割刃料的生产方法。该方法以高纯度绿碳化硅为原料,经由颚式破碎并过筛、自动循环式湿法球磨和水力旋流分级、自动溢流式除碳、磁选自动除铁、碱洗、清洗、PLC自动控制溢流分级、离心脱水、烘干、混配、精筛等步骤而制成的硅片切割刃料。用该方法制备的碳化硅刃料为等积形且保持尖锐的棱角,切割能力强;刃料颗粒具备大的比表面积和清洁的外表,与聚乙二醇等切削液有很强的适配性;采用自动循环湿法球磨和旋流分级进行粉碎的产品等积形多,粒型好且产量高,避免了过粉碎;采用自动磁选无酸除铁效率高且环保,自动化程度高,非常适合大规模生产。用该方法粉磨后的产品粒径集中度高且粒型好,可以达到更好的切割效果。
声明:
“硅片切割刃料的生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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