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真空电弧自动引弧装置

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:37:12
本实用新型涉及一种多弧离子镀真空电弧自动引弧装置,该装置可以在镀膜开始,进行自动引弧;在镀膜过程中,电弧熄灭或有熄灭的趋势时,由反馈单元监测电弧工作状态并将其作为识别信号用于控制单元作出判断是否发出引弧信号,从而保证薄膜沉积过程的顺利进行,消除由于电弧熄灭而造成的反应气体气压的波动而造成的对薄膜成分、结构、色彩影响的不利因素;本实用新型采用电触发引弧代替机械引弧;避免了使用引弧棒(丝)等机械方式引弧造成的污染、也可以避免引弧丝与阴极粘连所造成的失效问题。
声明：
“真空电弧自动引弧装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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