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MEMS电容式加速度传感器电-机械冲击下的试验方法

715   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:32
本发明提供一种微机电系统(MEMS：Micro‑Electro‑mechanical System)电容式加速度传感器电‑机械冲击下的试验方法。它主要针对MEMS电容式加速度传感器的电‑机械冲击试验的使用需求，提出其目的、试验要求、程序、失效判据，属于试验方法领域。该发明的优点是：1)能获得MEMS电容式加速度传感器在工作状态下的机械冲击可靠性信息，满足MEMS电容式加速度传感器在工程应用中的需求；2)形成覆盖MEMS电容式加速度传感器在电‑机械冲击状态下的试验方法，获得在电‑机械冲击条件下MEMS电容式加速度传感器的失效判据。能支撑MEMS电容式加速度传感器电‑机械冲击应力下的鉴定检验工作。
声明：
“MEMS电容式加速度传感器电-机械冲击下的试验方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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