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光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器

1080   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:32
一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本发明的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔高梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。
声明：
“光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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