合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 研磨方法

研磨方法

1025   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:10
一种在化学机械研磨中监测界面的方法,包括如下步骤:提供一晶圆,所示晶圆表面具有衬垫层以及设置于衬垫层表面的待研磨层;对待研磨层实施化学机械研磨,并在实施化学机械研磨的工艺过程中监测研磨面的反射率信息,绘制反射率与研磨时间的曲线;每隔固定的时间计算并记录该曲线终点处的斜率;根据记录的斜率值确定是否停止实施化学机械研磨。本发明的优点在于,采用检测斜率值的变化的手段代替现有技术中采用反射率曲线作为判断标准的方法来判断研磨的实施情况,并适时停止于界面或者其他指定的位置,避免出现监控失效。
声明：
“研磨方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：风力发电机轴承故障分类诊断模型的构建方法
下一个：扭矩控制方法、装置、终端、车辆和介质

与 “研磨方法” 相关技术

▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置
▪ 栅栏型钛基二氧化铅电极板
▪ 激光电冶金还原氮化制备钒氮合金的方法
▪ 工业废水尾水深度处理芬顿氧化法
▪ 采矿矿料输送机

相关失效分析设备推荐

D-LX201 DURAG火焰检测器 多气体检测仪
矿用二合一检测报警仪（CO、O2） 多气体检测仪
三层土壤墒情监测系统 土壤测试仪
斯派克GENESIS ICP光谱仪
LC-501 液相色谱仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置
▪栅栏型钛基二氧化铅电极板
▪激光电冶金还原氮化制备钒氮合金的方法
▪工业废水尾水深度处理芬顿氧化法
▪采矿矿料输送机

报名参会
更多+

2024全国有色金属分析检测技术交流会
2024全国有色金属分析检测技术交流会
2024年11月27日 ~ 29日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月13日 ~ 15日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
9 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记