合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 研磨方法

研磨方法

968   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:10
一种在化学机械研磨中监测界面的方法,包括如下步骤:提供一晶圆,所示晶圆表面具有衬垫层以及设置于衬垫层表面的待研磨层;对待研磨层实施化学机械研磨,并在实施化学机械研磨的工艺过程中监测研磨面的反射率信息,绘制反射率与研磨时间的曲线;每隔固定的时间计算并记录该曲线终点处的斜率;根据记录的斜率值确定是否停止实施化学机械研磨。本发明的优点在于,采用检测斜率值的变化的手段代替现有技术中采用反射率曲线作为判断标准的方法来判断研磨的实施情况,并适时停止于界面或者其他指定的位置,避免出现监控失效。
声明：
“研磨方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：风力发电机轴承故障分类诊断模型的构建方法
下一个：扭矩控制方法、装置、终端、车辆和介质

与 “研磨方法” 相关技术

▪ 采矿用地质勘探取样设备
▪ 汽车成型高寿命点焊电极用氧化铝铜系列合金棒材中试技术
▪ 磨粉机用的喂料装置
▪ 可在氩气手套箱中使用的高能离心球磨机
▪ 镁合金智能装备工程
▪ 畜牧养殖用智慧风机温湿度调节装置
▪ 旋转制动机构、C形臂X射线机及其监控器支架
▪ VOCs处理用高效蓄热式催化氧化反应器
▪ 球磨机加钢球用管道的安装结构
▪ 淀粉振动筛上的收集装置

相关失效分析设备推荐

Optima 7000DV 电感耦合等离子体原子发射光谱仪
全项目土壤养分测定仪
自动土壤温湿度监测站
管道式金属检测机
三元高效液相色谱仪（梯度）
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪采矿用地质勘探取样设备
▪汽车成型高寿命点焊电极用氧化铝铜系列合金棒材中试技术
▪磨粉机用的喂料装置
▪可在氩气手套箱中使用的高能离心球磨机
▪镁合金智能装备工程
▪畜牧养殖用智慧风机温湿度调节装置
▪旋转制动机构、C形臂X射线机及其监控器支架
▪VOCs处理用高效蓄热式催化氧化反应器
▪球磨机加钢球用管道的安装结构
▪淀粉振动筛上的收集装置

报名参会
更多+

全国有色金属工业电化学第三届学术会议
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
2024年07月12日 ~ 14日
第六届中国有色金属资源循环与绿色发展大会
第六届中国有色金属资源循环与绿色发展大会
2024年07月17日 ~ 19日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记