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掩膜板修复方法及掩膜板组件

702   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:51
本发明提供了一种掩膜板修复方法及掩膜板组件，掩膜板修复方法包括将掩膜板主体与基板对位，之后检测掩膜板上开口的偏位情况，检测步骤包括：对位检测设备抓取掩膜板主体上的开口边缘坐标，将开口边缘坐标与存储器中相应的预设开口边缘坐标进行比对，根据开口边缘坐标与预设开口边缘坐标的比对结果获取开口边缘与相应的预设开口边缘之间的偏位情况，其中，开口的偏位情况包括开口边缘位于相应的预设开口边缘的内侧以及开口边缘位于相应的预设开口边缘的外侧，之后根据掩膜板上开口的偏位情况进行处理以使得开口符合预设开口标准。该掩膜板修复方法能够修复掩膜板上开口的偏位问题，避免制作的目标膜层失效的问题。
声明：
“掩膜板修复方法及掩膜板组件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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