本发明公开了一种防止探针卡烧针的方法,在对样品进行失效分析的测试过程中,进行如下步骤:第1步,对样品进行开短路测量;第2步,进行电源短路预测量,判断电源短路预测量的失效情况;第3步,进行电源短路测量,并判断电源短路测量的失效情况;第4步,进行上电功能测试。本发明所述的防止探针卡烧针的方法,在常规的失效分析方法中,增加电源短路预测量以及电源短路测量步骤,将有短路特征的
芯片首先筛选出来,后续测试避开这些短路的芯片,能有效防止探针卡烧针。
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