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晶圆测试探针卡

801   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:24
本实用新型公开了本实用新型公开了一种晶圆测试探针卡,包括底层PCB板,在底层PCB板上固定设置有测试探针,所述测试探针包括中空的探针柱、探针头以及探针弹簧;所述探针柱一端连接PCB板,探针弹簧位于探针柱内,探针弹簧一端连接探针柱的底部,另一端连接所述探针头。本实用新型所述的晶圆测试探针卡,结构简单,使用本实用新型后晶圆测试工艺制程简单、技术质量可靠、可操作性强、晶圆级老化可靠性高,减少测试成本,更快的失效问题的反馈,可取得较佳且稳定的测试结果,起到大量节省原料成本和大幅度提高效率。
声明：
“晶圆测试探针卡” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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