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简易新颖的薄膜热学性能测试结构

715   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:23
本发明涉及材料的热学性能测试技术领域，特别涉及一种简易新颖的薄膜热学性能测试结构，包括设置于衬底上的串联多个相同悬臂梁，所述悬臂梁由平面图形相同的待测薄膜和测温加热电阻薄膜由下至上完全重叠设置而成。本发明有用信号大从而获得较理想的信噪比，可有效降低对后续信号处理电路的要求；结构可靠，避免了由于悬臂梁过长导致其与衬底接触而失效的风险，可以极大减小工艺难度、提高制作成功率；制备工艺简单，一次成型；结果精确，热学参数表达式简单，测试手段相对简单。
声明：
“简易新颖的薄膜热学性能测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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