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互连线电迁移的测试装置及方法

772   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:22
一种互连线电迁移的测试装置，包括互连线测试结构和加热金属线，所述加热金属线环绕互连线测试结构，所述互连线测试结构与测试电源连接，所述加热金属线的两端与加热电源连接；本发明还提供了一种互连线电迁移的测试方法。本发明互连线电迁移测试装置和测试方法，能够精确确定互连线电迁移测试装置中待测互连线的激活能和电流密度指数，进而精确确定待测互连线的失效时间，提高了互连线电迁移评价的准确性。
声明：
“互连线电迁移的测试装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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