本发明提供了一种晶圆测试结果图标记修改方法,包括:第一步骤,用于根据晶圆测试结果图自动生成晶圆测试结果图文本文件;第二步骤,用于利用Excel?Macro程序对生成的晶圆测试结果图文本文件进行自动识别以标记出不合格的失效裸片;第三步骤,用于在Excel?Macro程序中针对失效裸片自动对围绕失效裸片的合格晶圆进行附加标记;第四步骤,用于利用Perl?script程序对附加标记后的晶圆测试结果图文本文件进行格式转换。
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