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薄膜封装Test key的制作方法和检测方法

1140   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:08
本发明公开了一种薄膜封装Test key的制作方法和检测方法，S1：在玻璃基板上制备TFT驱动器，在制备TFT驱动器时，玻璃基板边缘中的衬底层与TFT驱动器中的SiNx层在同一层，即在制备TFT驱动器时，沉积在玻璃基板边缘的SiNx层形成衬底层，再在TFT驱动器制备像素定义层，像素定义层经过曝光显影蚀刻脱膜形成图案，然后再在像素定义层的开口处溅射一层阳极；S2：在步骤S1的基础上制备OLED发光器件，然后再在OLED发光器件上制备阴极，其中阴极包含Mg阴极和Ag阴极；S3：在步骤S2的基础之上沉积薄膜封装层。本发明可以高效和快速地检测出薄膜封装的OLED显示器是否失效，以及水氧侵蚀的程度，为后续维修和使用提供一个方向，并且在器件的开发方面具有重要意义。
声明：
“薄膜封装Test key的制作方法和检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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