本发明公开了一种适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统,包括有钨铜靶板和探针组件。钨铜靶板为钨片、无氧纯铜适应层和铬锆铜基座焊接而成,铬锆铜基座内被中间隔座隔分为两个水冷管道,水冷管道与连接铜管、进水铜管和出水铜管焊接连接而成。探针组件包括有探针头、前端陶瓷圈、铜连接件、后端陶瓷圈、弹簧垫圈、顶紧螺钉、接线螺钉和导线,安装于铬锆铜基座内的探针孔中,其中探针头可采用钨铜或纯石墨结构。本发明采用集成模块化结构,充分利用靶板空间,可整体拆装,无焊接固定结构,拆卸维修时对靶板无损坏的风险;探针系统结构简单、紧凑,空间分辨率更高;提高了探针系统测量精度。
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