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用于芯片检测的双点激光显微检测装置

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:06
本实用新型公开了一种用于芯片检测的双点激光显微检测装置，属于光学工程/无损检测领域。包括双路激光模组、转接环、光学合路单元、红外CCD、照明光源、显微镜、可调节支架、样品台、旋转台、X‑Y位移台和基座等。双路激光模组由两台激光器组合而成，激光模组通过转接环与光学合路单元链接并固定，模组中的两路激光通过光学合路单元的整形、偏转和合束后进入显微镜；显微镜和光学合路单元通过可调节固定支架组合，红外CCD和照明光源分别与光学合路单元、显微镜连接，以提供所述装置的显微成像和照明功能；该实用新型通过实现双路激光的整形、偏转和调节，可进行芯片等微结构微器件的快速扫描、精确检测。
声明：
“用于芯片检测的双点激光显微检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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