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薄膜纵向不均匀性检测方法、装置及终端和检测系统

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:04
本发明公开一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置、检测系统以及终端，涉及薄膜检测技术领域，以提高无损检测薄膜纵向不均匀性方法的适用范围。该薄膜纵向不均匀性检测方法包括：接收被测样品的椭偏光谱曲线信息，被测样品至少包括被测薄膜；根据被测样品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；将薄膜模型所含有的至少一个变量参数转换为梯度化变量参数；以被测样品的椭偏光谱曲线信息为曲线拟合目标，利用薄膜模型对梯度化变量参数进行曲线拟合，获得被测样品的光电参数在被测样品纵向方向上的变化曲线信息；根据变化曲线信息确定被测样品的纵向不均匀性。本发明用于薄膜纵向不均匀性检测。
声明：
“薄膜纵向不均匀性检测方法、装置及终端和检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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