本发明提供一种磁辊表面粗糙度的无损测量装置,该装置包括由激光器、透镜、起偏器、偏振分束器、平面反射镜、1/2波片、分束器、1/4波片、聚焦物镜组成的光学部分、由光功率计、微机及显示界面组成的光探测部分及由支架和转动装置组成的机械部分。本发明采用两光束共光路、同心聚焦扫描可实现表面粗糙度的绝对测量,使用一个1/2波片改变一路光束的偏振态,避免了传统测量系统中光路具有可逆性的问题,保证了系统的稳定性,使用一个1/4波片使接收端的光束偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大。该系统光路结构简单,且测量精度高。
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