一种多功能X射线定向仪及方法,属于单晶材料加工领域;多功能X射线定向仪包括:工作台、防辐射保护罩、X射线发生系统、衍射线接收系统、晶体样品旋转台和计算机控制系统;晶体样品旋转台中的样品放置台可通过拆卸螺栓进行更换;方法包括:利用多功能X射线定向仪进行晶体缺陷识别、不同晶体特征测定、手动定向测定和获取角度误差的方法;本发明集多种单晶体用X射线定向仪测量系统于一体,降低了设备成本,保证了产品一致性;对各单晶材料检测的数据进行融合整理,智能得到单晶材料的缺陷类型,提高了已有数据的利用效率;使用闪烁探测器作为X射线探测器,稳定度较高,抗干扰能力强,弥补了盖革管的不足。
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