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LED芯片无损检测装置

668   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:45
本发明公开一种LED芯片无损检测装置，LED芯片无损检测装置包括电源、导电液出液机构及检测机构，导电液出液机构包括液体压力控制器和微流控芯片，液体压力控制器和电源分别与微流控芯片连接；微流控芯片设有多列用于流通正极导电液的第一导流孔和多列用于流通负极导电液的第二导流孔，液体压力控制器与一列第一导流孔和一列第二导流孔连通，以控制正极导电液在第一导流孔的流通及负极导电液在第二导流孔的流通；检测机构包括与微流控芯片间隔设置的支撑架和光学传感器，支撑架设有凹槽，光学传感器设于凹槽内，凹槽的槽口放置装载有多个LED芯片的晶圆。本发明技术方案通过导电液出液机构代替探头，无需更换探头，提高LED芯片无损检测装置的检测效率。
声明：
“LED芯片无损检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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