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集成光信号计算装置的制备方法

940   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:00
本发明涉及一种集成光信号计算装置的制备方法，属于光电技术领域。提供了使用MESA光刻、PAD光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、化学气相沉积法等方法将发射单元、分光单元与探测单元三个模块进行集成，获得高集成度的光信号计算装置，只需要外联电路便可启动，可以随意移动。集成光信号计算装置的制备方法有效提高光计算装置的集成化程度以及降低制造成本，并且工艺简单有利于产业化。
声明：
“集成光信号计算装置的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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