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钯金合金氢气传感器芯体的制造方法

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:56
一种钯金合金氢气传感器芯体的制造方法，属于传感器技术及制造领域，本发明为解决现有传感器芯体稳定性不高，并且成本高的问题。本发明的具体过程为：依次用丙酮溶液、酒精和HF溶液清洗硅片，然后甩干；利用干法湿法混合氧化，在硅片表面形成第一二氧化硅层和第二二氧化硅层；利用化学气相沉积在第一二氧化硅层的表面形成氮化硅层；利用溅射在氮化硅层表面形成钯镁合金薄膜；利用溅射在氮化硅层的表面形成测温电阻和加热电阻；在背面利用腐蚀形成背面腐蚀槽。本发明用于氢气传感器的生产和使用中。
声明：
“钯金合金氢气传感器芯体的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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