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制造系统

750   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:38
本发明提供一种制造系统,包括研磨机台、检测机台及控制装置。该研磨机台是通过机械方式移除一基材上的导电物质。该检测机台是通过非破坏性测试方法,测量该导电物质中引起的电磁信号。该控制装置是与该研磨机台及该检测机台耦接,用以在研磨制程进行中,依据测量得到的该电磁信号,决定该导电物质的残余厚度及移除率,并据以调整该研磨机台的第一制程参数。使用本发明提供的制造系统,可使后一研磨制程的研磨量依据前一研磨制程的结果来进行调整,从而提高化学机械研磨的平坦化效果。
声明：
“制造系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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