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评估加工件特性的方法、加工件及形成光感层的方法

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:37
本发明揭露一种评估加工件特性的方法、加工件及形成光感层的方法。评估离子植布加工件特性的方法包含：在基材上形成一光感层，以形成一加工件，该光感层包含一光感材料。接着，在该加工件上进行离子植布。对该加工件进行辐射。计算该加工件的一光学强度。离子植布图案由光学强度结果评估。光感材料的一化学结构在离子植布时改变。加工件透过恢复光感材料的化学结构或是通过化学物质移除离子干扰的光感材料。可加快分析离子植布的时程，且容易观察，加工件还可回收再利用。
声明：
“评估加工件特性的方法、加工件及形成光感层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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