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半导体器件失效定位方法

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:52
本发明公开了一种半导体器件失效定位方法，包括：开启半导体器件封装，露出器件芯片；在所述器件芯片表面涂覆液晶并加电，根据液晶颜色变化情况，确定失效点位置；对所述器件芯片进行逐层剥层直至所述失效点完全暴露；本发明验操作简单方便，将液晶技术引入到半导体器件失效分析中，弥补了微光显微镜设备昂贵的问题，同时，提出了半导体芯片干法刻蚀和湿法刻蚀中的相关参数及化学配比，能高效应用于常规Si半导体器件的剥层；将两者有效的结合起来，能够满足半导体器件深层失效分析定位及失效分析的需求。
声明：
“半导体器件失效定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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