本发明公开了一种形成化学传感器的方法、一种化学传感器和一种检测目标物质的方法。使用在基底上可以处于薄膜层形式的催化剂合成纳米结构。前体化合物是为低沸点而选择的或已经以气体形式存在。纳米结构能够用掩蔽的基底合成,以产生图案化的纳米结构生长。该技术还包括形成具有<10nm的尺寸并且具有窄粒径分布的金属纳米粒子。已经显示金属纳米粒子具有增强的催化性质。该方法可以包括等离子体增强化学气相沉积,以将Ni、Pt和/或Au纳米粒子沉积到SiO2、SiC和GaN纳米线的表面上。可以使用金属纳米粒子在约5-7分钟内涂覆纳米结构样品。纳米粒子的尺寸可以通过在所述方法中适当地控制温度和压力来控制。涂覆的纳米线具有作为气体和水性传感器和储氢的应用。
声明:
“用于纳米结构的组分的制备和涂覆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)