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微小尺寸芯片固定装置

975   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:09
本发明涉及半导体制造行业的失效分析领域，尤其涉及一种应用于光发射显微镜的固定装置，包括底座和位于该底座上的若干条挡块，且该底座与所述若干条挡块共同构成承载主体；所述若干条挡块之间形成了多个样品槽，且每相邻的两条挡块之间分别设置有一条滑块。该结构使得本发明的芯片测试结构不会被胶带遮挡而影响到探针扎针，芯片表面也不会受到污染；同时，芯片背面与固定装置底座充分接触，不会因倾斜而影响光发射显微镜的镜头聚焦；再次，当探针进行扎针时，针尖与芯片不会发生相对滑动，而且整个操作过程不涉及化学物品，安全无害。从而可以帮助分析人员快速、高效、安全地进行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
声明：
“微小尺寸芯片固定装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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