本发明的涂覆硬质被膜工具具有以下特征:在使 B的细微氮化物粒子分散的TiB系硬质被膜涂覆的工具中,通 过硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能,通过硬 质被膜的拉曼分光光度
分析检测c-BN和/或h-BN,c-BN的峰值强度Q1和h-BN的峰值强度Q2之比Q1/Q2为1.0以上,X线衍射的(200)面的半值宽度Z在0.3°~0.6°的范围内,工具的前刀面的膜厚K和后刀面的膜厚L之比K/L为1.0以上,而且,上述硬质被膜具有高的硬度及润滑性,可以抑制与加工物的化学反应,耐月牙洼磨损性优良。
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