本发明提供显影辊、电子照相处理盒和电子照相图像形成设备。显影辊具有芯轴、弹性层和作为表面层的覆盖层。所述覆盖层包括含化学键合至硅原子的碳原子的氧化硅膜。在所述氧化硅膜中,通过使用高频辉光放电光发射表面分析方法检测,硅、氧、碳和氢的元素总数相对于全部检测元素数的比例为90%以上。所述氧化硅膜具有化学键合至硅原子的氧原子与硅原子的丰度比(O/SI)为0.65以上至1.95以下,和化学键合至硅原子的碳原子与硅原子的丰度比(C/SI)为0.05以上至1.65以下,以及具有沿覆盖层厚度方向的(C/SI)的最大值和最小值的比例为1.50至33.00。
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