合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 硅漂移探测器的制备方法

硅漂移探测器的制备方法

942   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:49
本说明书提供一种硅漂移探测器的制备方法，包括沉积步骤；所述沉积步骤包括：以四氟化锗、高阶硅烷和掺杂剂硅烷作为反应气体，采用化学气相沉积工艺在具有钝化膜的硅衬底上沉积重掺杂锗薄膜，使重掺杂锗薄膜在硅衬底的对应区域形成功能区。因为高阶硅烷能够在较低温情况下被激活而与四氟化锗反应，所以在锗薄膜形成过程中可以采用低温工艺，而低温工艺可以避免扩散工艺和离散注入工艺中的高温对硅衬底的损伤，有利于获得较高的体寿命，提高硅漂移探测器的能量分辨率。
声明：
“硅漂移探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：在原位电磁感应监测中对浆料组成的补偿
下一个：基于层状钴氧化物的低温测温元件

与 “硅漂移探测器的制备方法” 相关技术

▪ 极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪ 飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪ 冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪ 新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪ 锂离子电容器的产业化项目
▪ 堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪ 红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

相关化学分析设备推荐

钢研纳克NX-100S土壤重金属检测仪
土壤墒情监测站
防爆式氧分析仪
区域气体及射线复合式监测仪
氨基吡啶检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪极低品位铜钼矿资源绿色高效回收关键技术及产业化
▪飞灰及焚烧残渣无废全利用项目
▪冶炼污酸浓缩脱氟氯工艺技术
▪新一代超快充锂电硬炭负极材料产业化
▪锂离子电容器的产业化项目
▪堆场清水喷淋启动技术开发与应用
▪红土镍矿还原焙烧-氨浸综合回收利用
▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术

报名参会
更多+

2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月20日 ~ 22日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:53
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:45
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
9 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
10 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记