合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 与硅光波导集成的石墨烯异质结光探测器的制备方法

与硅光波导集成的石墨烯异质结光探测器的制备方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本发明公开了与硅光波导集成的石墨烯异质结光探测器的制备方法，步骤为：1）对SOI衬底的顶层硅进行电子束光刻和刻蚀，在其上表面形成硅光波导；2）采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）方法在SOI衬底和硅光波导上覆盖一层二氧化硅层；3）采用PECVD方法，在二氧化硅层之上生长一层或数层石墨烯层，同时可以通过化学掺杂的方法，改变所述石墨烯层的光电特性；4）采用PECVD方法或机械剥离的方法，在石墨烯层上制备一层二硫化钼层；5）采用电子束蒸发或磁控溅射的方法分别在石墨烯层和二硫化钼层上淀积一层电极层。本发明中的器件结构可以实现与硅集成的快速、宽带光信号探测，具有低成本、高集成度的特点，有望应用于集成化的宽带光传输系统。
声明：
“与硅光波导集成的石墨烯异质结光探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：基于铈和锰掺杂的镁铝尖晶石荧光温度传感材料及其在温度测量中的应用
下一个：监测利用含有一种或多种烃的反应性气体的工艺过程的方法

与 “与硅光波导集成的石墨烯异质结光探测器的制备方法” 相关技术

▪ 镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪ 利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪ 金属冶炼毛坯锭分料装置
▪ 冶炼用直流矿热炉
▪ 金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪ 金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪ 用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪ 热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪ 采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪ 上下双滚筒永磁干式磁选机

相关化学分析设备推荐

TRU树木雷达检测系统
土壤水分监测仪《自动监测》
土壤中微量元素检测仪器
环境一站式气体在线监测报警控制主机 多气体检测仪
全国土壤墒情监测系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪金属冶炼毛坯锭分料装置
▪冶炼用直流矿热炉
▪金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪上下双滚筒永磁干式磁选机

报名参会
更多+

2025有色金属智能工厂大会
2025有色金属智能工厂大会
2025年03月20日 ~ 22日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025年03月29日 ~ 31日
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
2025年04月11日 ~ 13日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:127
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:102
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:95
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:93
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:92
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:89
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:88
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:87
10 制样室装修设计技巧
下载:86
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记