本方法适用于诸如胶接或化学气相渗透或沉积的工艺,所述工艺是在炉中实行的,且所述方法包括:设定炉的操作参数;引入试剂气体到炉中,试剂气体含有至少一种气态烃;和从炉中抽出含有试剂气体反应副产物的废气。废气要在可吸收存在于废气中的焦油的油中对其进行洗涤,关于工艺的进程的信息是通过测量被油吸收的焦油数量而得到。
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