本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VO
x)的敏感材料(15)的微测辐射热计(10)的方法,所述敏感材料包括选自硼(B)、碳(C)的除氮(N)以外的至少一种附加化学元素,所述方法包括以下步骤:i.确定附加化学元素(B、C)的非零有效量,基于该有效量,在温度T
r下经受暴露持续时间Δt
r的敏感材料(15)在环境温度下的电阻率ρ
a|r大于或等于所述敏感材料(15)的固有值ρ
a的50%;ii.将所述敏感材料(15)制成薄层,其附加化学元素(B、C)的量大于或等于之前确定的有效量,所述敏感材料是非晶的,并且具有1至30Ω.cm的电阻率;iii.在小于或等于T
r的温度下将所述敏感材料(15)暴露小于或等于Δt
r的持续时间。
声明:
“用于制造包括基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)