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晶圆片的寿命测试方法

1023   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:19
本发明提供一种晶圆片的寿命测试方法，步骤包括：氧化，至少在晶圆片的一个表面上形成一层氧化膜；钝化，在具有所述氧化膜的其中一个所述晶圆片表面上进行电荷沉积；测试，再对钝化后的所述晶圆片表面进行寿命测试。本发明测试方法为无损检测，无需对晶圆片进行化学钝化，即可对晶圆片体内载流子寿命进行检测，测试结果准确且测试效率高，测试完成后可以继续对晶圆片进行其他理化性质方面的检测及测试，提高晶圆片的利用率，节约成本。
声明：
“晶圆片的寿命测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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