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适用于单晶硅抛光片目检的暗室

986   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:22:39
本实用新型提供了一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，包括室仓和除尘机构，室仓包括多个隔板和推拉门，隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，隔板的上方还设有除尘机构；除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，风机过滤单元设置于室仓的外部，离子棒设置于室仓的内部；化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，离子棒固定于出风通孔处。本实用新型保障了硅片不受到颗粒、AMC的污染，使目检工作有效进行。
声明：
“适用于单晶硅抛光片目检的暗室” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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