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用于真空等离子增强化学气相沉积的液体高温气化装置

1008   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:13
本实用新型公开了用于真空等离子增强化学气相沉积的液体高温气化装置，属于化学物质技术领域，包括机架和热药罐，所述位于机架正面的左侧，所述热药罐顶部的正面前设置有注药管，通过设置热药罐和高温流量计的配合，能够控制热药罐的加热温度，使热药罐内药液以恒定速率蒸发，保持热药罐压力在合适范围内能够精准控制气体流量，保证产品膜厚均匀，达到不同膜厚要求，并且操作简单，通过简单设定参数即可达到使用目的整体液体高温气化装置体积小，热药快，开机后通过自检程序后即可开始使用，同时节约能源，功率低，消耗能量少，通过设置电磁控制阀和清洗进气管的配合使装置自带清洗功能，保证精密元器件长期使用不损坏。
声明：
“用于真空等离子增强化学气相沉积的液体高温气化装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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