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激光和化学结合选择性活化绝缘材料制造导电图案的方法

1187   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-19 07:00:53
本发明涉及一种激光和化学结合选择性活化绝缘材料制造导电图案的方法,先找出化学和激光加工强度的上下限,在限度内确定加工参数;再实测得出聚焦后的光束束腰直径与电路图案尺寸的对应关系,以光束束腰直径为变量,以单位面积上能量和功率为恒量,生成针对该加工任务的激光加工参数、加工数据;然后,在线改变激光参数,并进行激光加工和化学处理,改变材料的表面性能、形貌。本发明控制并累积化学作用和激光作用的效果,只使同时被化学处理,又被激光加工过的区域具备化学镀所需要的活性,以及电镀所需的表面状态。质量可靠,速度快;环境友好,工艺路线明确,参数、指标具体,过程可控。适合在平面和三维塑料、陶瓷、玻璃实体上制造电路。
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