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具有集成传感器的化学机械抛光保持环

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:46
本文中提供一种用于化学机械抛光承载头的保持环，具有用于基板的固定表面。在一些实施方式中，该保持环可以包括具有中央开口的环形主体、被形成在该主体中的通道，其中该通道的第一端邻近该中央开口；以及被设置在该通道内并邻近该第一端的传感器，其中该传感器配置为检测来自在该基板上进行的工艺的声波及/或振动发射。
声明：
“具有集成传感器的化学机械抛光保持环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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