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具有窗口的化学机械抛光垫

645   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:45
本发明提供一种化学机械抛光垫，其具有抛光层；端点检测窗；子衬垫；以及堆叠粘着剂；其中子衬垫包括与端点检测窗光通信的多个孔口；并且其中抛光层的抛光表面适用于衬底的抛光。
声明：
“具有窗口的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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